Programmeerbare spincoater SC-4 met vacuümpomp, 9999 RPM voor 4-inch wafers | FMFPAX

Productoverzicht

FMFPAX SC-4 is een hoogprecieze, compacte laboratoriumvacuüm-spincoater, ontworpen voor het aanbrengen van dunne lagen, fotoresistcoating, wafercoating en de voorbereiding van kleine substraten tot 4 inches (100 mm). Met enkelstaps- en meerstaps programmeerbare recepten. SC-4 Hiermee kunnen onderzoekers de draaisnelheid, de looptijd en de versnellingsramp nauwkeurig regelen voor een gelijkmatige, reproduceerbare coating in toepassingen binnen de halfgeleiderindustrie, nanotechnologie en materiaalkunde.

Belangrijkste kenmerken

• Complete pakket met vacuümpomp: Het standaardpakket bevat een externe vacuümpomp en een vacuümchuck, zodat het substraat direct klaar voor gebruik vastgehouden wordt zonder dat u extra apparatuur hoeft aan te schaffen.
• 100-9999 RPM brede toerentalrange: Instelbaar van 100 tot 9999 rpm met een resolutie van 1 rpm, gecombineerd met een versnellingsbereik van 100-9999 rpm/s voor nauwkeurige procesregeling.
• Programmeerbare meerstapsrecepten: Ondersteunt zowel enkelstaps- als meerstapsbediening, met onafhankelijke instellingen voor snelheid, duur (tot 3000 s per stap) en versnelling voor coatingcurves met meerdere niveaus.
• Breed toepasbaar voor substraten (tot 4 inch): Ontworpen voor kleine monsters, glasplaatjes, ITO-geleidend glas en standaard halfgeleiderwafers tot 4 inch.
• Borstelloze gelijkstroommotor: Zorgt voor een soepele, trillingsarme en vrijwel geluidloze rotatie, wat resulteert in ultra-uniforme dunne-filmcoatings en een lange levensduur in het laboratorium.
• Compacte benchtopmodel & geschikt voor handschoenenkast: Compact ontwerp voor laboratoriumwerkbanken, zuurkasten en geschikte handschoenenkasten. Controleer vóór de installatie de beschikbare ruimte, de toegangsopening en de ventilatie.
• Intuïtieve digitale bediening: Voorzijde met lcd-display en drukknoppen, met omschakelbare menuweergave in het Engels en Chinees.
• 110V of 220V Opties: Kies de spanning die past bij uw lokale netvoeding.

Toepassingen

De SC-4 is ontwikkeld voor uiteenlopende academische, industriële en halfgeleiderresearchtoepassingen, waaronder:

• Halfgeleider & microelektronica: Coating van siliciumwafers, spincoating van fotoresist (positief/negatief) en monstervoorbereiding voor UV-fotolithografie.
• Optische & geleidende films: Spincoating op glasplaatjes, ITO/FTO-geleidend glas als substraat en optische lenzen.
• Materiaalkunde & nanotechnologie: Dunne-filmdepositie via sol-gel, lagen voor perovskiet-zonnecellen, polymeerfilms en coatings van functionele nanomaterialen.
• Biologische & chemische laboratoria: Verwerking van kleine chips, dekglaasjes en substraten voor oppervlaktemodificatie.

Technische specificaties

Bediening en aansluitingen

• Digitaal LCD-scherm aan de voorkant met eenvoudig te bedienen instelknoppen voor parameters en knoppen voor modus, pomp, start en pauze.
• Achterzijde met VAC-vacuümaansluiting voor snelle verbinding met de meegeleverde vacuümpomp.
• Transparant scharnierend beschermdeksel met spatkom, zodat procesvloeistoffen veilig worden opgevangen.

Selectie & installatieaanwijzingen

Een vacuümpomp en vacuümleiding zijn meegeleverd; een aparte vacuümbron is niet nodig. Kies 110V of 220V, afgestemd op uw lokale netvoeding. Sluit voor het spinnen de meegeleverde pomp aan en centreer een substraat dat het vacuümoppervlak van de chuck en de O-ring volledig bedekt.

Veelgestelde vragen (FAQ)

Is er bij de SC-4 een vacuümpomp inbegrepen?

Ja. In tegenstelling tot veel losse apparaten op de markt wordt bij de SC-4 standaard een externe vacuümpomp met vacuümleidingaansluiting geleverd, zodat u direct over een compleet en gebruiksklaar systeem beschikt.

Welke substraatformaten en -typen kunnen worden verwerkt?

De SC-4 is geschikt voor substraten met een diameter of diagonaal van maximaal 4 inch (100 mm), waaronder standaard siliciumwafers, glasplaatjes, kwartsplaten en ITO/FTO-geleidend glas.

Kan deze spincoater meerstaps-coatingprogramma's uitvoeren?

Ja. De SC-4 beschikt over programmeerbare meerstapsbesturing. U kunt per afzonderlijke stap de snelheid, de versnellingsrampe en de verblijftijd instellen om vloeiende coatingprofielen te maken, bijvoorbeeld eerst uitspreiden bij lage snelheid en vervolgens dunner maken bij hoge snelheid.

Is de SC-4 geschikt voor gebruik in een handschoenenkast?

Ja, mits de behuizing voldoende ruimte, een geschikte toegangsopening en ventilatie voor het coatingproces biedt. Neem contact op met sales@fmfpack.com om de afmetingen te bevestigen vóór de bestelling.

Wat is het toerentalbereik en de resolutie?

100–9999 tpm met instelstappen van 1 tpm. Bevestig het bedrijfsbereik van de geleverde uitvoering vóór de bestelling. De stap van 1 tpm is de instelresolutie en geen nauwkeurigheidstolerantie.

Kan de weergavetaal worden gewijzigd?

Ja. Houd Mode 3 seconden ingedrukt en houd vervolgens SET 3 seconden ingedrukt om naar de systeemconfiguratie te gaan. Gebruik links/rechts om Language te selecteren, omhoog/omlaag om 2. English te kiezen, en houd SET 3 seconden ingedrukt om op te slaan. Druk op Mode om terug te keren.

Gebruik en Engelse gebruikershandleiding

1. Monteer de chuck stevig, sluit de meegeleverde vacuümpomp aan en steek de stekker in een voedingsbron die past bij de gekozen 110V of 220V uitvoering.
2. Plaats een substraat dat het vacuümoppervlak van de chuck en de O-ring volledig bedekt, in het midden; sluit de deksel.
3. Kies Easy Mode of Standard Mode. Houd SET 3 seconden ingedrukt om te bewerken; stel snelheid, tijd en rampsnelheid in en houd daarna SET ingedrukt om op te slaan.
4. Start het recept en wacht tot de rotatie is gestopt voordat u het substraat verwijdert.

De standaardmodus slaat vijf recepten op met vijf stappen per recept. Gebruik vacuümslang met een binnendiameter van 4 mm en een buitendiameter van 6 mm, en houd de vertraging van het systeem op of onder 3.000 RPM/s. De vacuümpomp is meegeleverd, dus er is geen aparte vacuümbron nodig. Kies de 110V of 220V uitvoering, afgestemd op uw lokale netvoeding.

Is er een gebruikershandleiding beschikbaar?

Lees de handleiding van de SC-4 met instructies voor installatie, programmering en het Engelse menu, of download de Engelse gebruikershandleiding als PDF.