เครื่องปั่นเคลือบฟิล์ม SC-4 แบบตั้งโปรแกรมได้ พร้อมปั๊มสุญญากาศ ความเร็วรอบ 9999 RPM สำหรับเวเฟอร์ 4 นิ้ว | FMFPAX

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

FMFPAX SC-4 เป็นเครื่องเคลือบสปินสูญญากาศขนาดกะทัดรัดสำหรับห้องปฏิบัติการ ออกแบบมาเพื่อความแม่นยำสูง สำหรับการเคลือบฟิล์มบาง การเคลือบโฟโตรีซิสต์ การเคลือบเวเฟอร์ และการเตรียมชิ้นงานตัวอย่างขนาดเล็กที่มีขนาดไม่เกิน 4 นิ้ว (100 มม.) ที่มาพร้อมสูตรการทำงานแบบขั้นตอนเดียวและหลายขั้นตอนที่ตั้งโปรแกรมได้ ซึ่งช่วยให้ SC-4 ช่วยให้นักวิจัยควบคุมความเร็วรอบ เวลาการทำงาน และอัตราการเร่งความเร็วได้อย่างแม่นยำ เพื่อให้การเคลือบมีความสม่ำเสมอและทำซ้ำได้ สำหรับการใช้งานในด้านเซมิคอนดักเตอร์ นาโนเทคโนโลยี และวัสดุศาสตร์

คุณสมบัติหลัก

• ชุดสมบูรณ์พร้อมปั๊มสุญญากาศ: ชุดมาตรฐานมาพร้อมปั๊มสุญญากาศภายนอกและชุดจับยึดสุญญากาศ ช่วยยึดชิ้นงานได้ทันทีโดยไม่ต้องซื้ออุปกรณ์เพิ่ม
• ช่วงความเร็วรอบกว้าง 100-9999 RPM: ปรับความเร็วได้ตั้งแต่ 100 ถึง 9999 rpm ความละเอียด 1 rpm พร้อมช่วงอัตราเร่ง 100-9999 rpm/s เพื่อควบคุมกระบวนการได้อย่างละเอียด
• โปรแกรมหลายขั้นตอนที่ตั้งค่าได้: รองรับการทำงานทั้งแบบขั้นตอนเดียวและหลายขั้นตอน พร้อมพารามิเตอร์ความเร็ว ระยะเวลา (สูงสุด 3000 วินาทีต่อขั้นตอน) และอัตราเร่งที่ตั้งได้อิสระ เพื่อสร้างเส้นโค้งการเคลือบแบบหลายระดับ
• รองรับชิ้นงานหลากหลาย (สูงสุด 4 นิ้ว): ออกแบบมาสำหรับตัวอย่างขนาดเล็ก แผ่นกระจกสไลด์ กระจกนำไฟฟ้า ITO และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์มาตรฐานขนาดได้ถึง 4 นิ้ว
• มอเตอร์ DC แบบไร้แปรงถ่าน: หมุนได้นุ่มนวล สั่นสะเทือนต่ำ และเงียบมาก ช่วยให้ฟิล์มบางเคลือบได้สม่ำเสมอสูงและใช้งานในห้องปฏิบัติการได้ยาวนาน
• Компактный настольный & бокс для перчаток: Компактная конструкция для лабораторных столов, вытяжных шкафов и совместимых перчаточных боксов. Перед установкой проверьте свободное пространство, размер проёма для доступа и вентиляцию.
• ระบบควบคุมดิจิทัลที่ใช้งานง่าย: จอ LCD ด้านหน้าพร้อมปุ่มกด รองรับการสลับเมนูภาษาอังกฤษและภาษาจีน
• 110V или 220V Варианты: Выберите напряжение, соответствующее вашей местной электросети.

การประยุกต์ใช้งาน

SC-4 ออกแบบมาเพื่อรองรับงานวิจัยด้านวิชาการ อุตสาหกรรม และเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย ได้แก่:

• ทั้งการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ & และไมโครอิเล็กทรอนิกส์: การเคลือบเวเฟอร์ซิลิคอน การเคลือบโฟโตรีซิสต์ (ชนิดบวก/ลบ) ด้วยการปั่น และการเตรียมตัวอย่างสำหรับการทำโฟโตลิโทกราฟีด้วยรังสียูวี
• แผ่นฟิล์มนำไฟฟ้าทางแสง &: เคลือบแบบปั่นบนแผ่นกระจกสไลด์ แผ่นกระจกนำไฟฟ้า ITO/FTO และเลนส์ทางแสง
• วิทยาศาสตร์วัสดุ & นาโนเทคโนโลยี: การเคลือบฟิล์มบางด้วยกระบวนการโซล-เจล ชั้นของเซลล์แสงอาทิตย์เพอรอฟสไกต์ ฟิล์มโพลิเมอร์ และการเคลือบวัสดุนาโนเชิงหน้าที่
• ทางชีววิทยา & ห้องปฏิบัติการเคมี: การประมวลผลชิปขนาดเล็ก แผ่นปิดสไลด์ และแผ่นฐานสำหรับการปรับเปลี่ยนพื้นผิว

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค

การควบคุมและจุดต่อสาย

• จอ LCD ดิจิทัลด้านหน้า พร้อมปุ่มปรับค่าพารามิเตอร์ที่ใช้งานง่าย และปุ่มควบคุมโหมด ปั๊ม เริ่มทำงาน และหยุดชั่วคราว
• ช่องต่อสุญญากาศ VAC ด้านหลัง สำหรับเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศที่แถมมาได้อย่างรวดเร็ว
• ฝาปิดใสแบบบานพับพร้อมถาดรองรับการกระเด็น เพื่อกักเก็บของเหลวที่ใช้ในกระบวนการได้อย่างปลอดภัย

& ข้อควรทราบในการติดตั้ง

Вакуумный насос и вакуумная линия входят в комплект, отдельный источник вакуума не требуется. Выберите 110V или 220V в соответствии с напряжением вашей местной электросети. Перед вращением подключите входящий в комплект насос и центрируйте подложку так, чтобы она полностью перекрывала вакуумную поверхность патрона и уплотнительное кольцо.

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

ชุด SC-4 มาพร้อมปั๊มสุญญากาศหรือไม่

มีครับ/ค่ะ ต่างจากเครื่องอิสระหลายรุ่นในท้องตลาด ชุดมาตรฐานของ SC-4 รวมปั๊มสุญญากาศภายนอกและชุดสายต่อสุญญากาศไว้ให้ครบ พร้อมใช้งานได้ทันที

สามารถประมวลผลซับสเตรตที่มีขนาดและชนิดใดได้บ้าง

SC-4 รองรับวัสดุพื้นผิวที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางหรือเส้นทแยงมุมสูงสุด 4 นิ้ว (100 มม.) ได้ รวมถึงเวเฟอร์ซิลิคอนมาตรฐาน แผ่นกระจกสไลด์ แผ่นควอตซ์ และกระจกนำไฟฟ้า ITO/FTO

เครื่องนี้รองรับโปรแกรมการเคลือบหลายขั้นตอนได้หรือไม่

รองรับครับ/ค่ะ SC-4 มีระบบควบคุมหลายขั้นตอนแบบตั้งโปรแกรมได้ ผู้ใช้สามารถกำหนดความเร็ว อัตราเร่ง และเวลาคงที่ในแต่ละขั้นตอนได้ เพื่อสร้างรูปแบบการเคลือบที่ราบเรียบ เช่น ขั้นแรกกระจายสารด้วยความเร็วต่ำ ตามด้วยการบางฟิล์มด้วยความเร็วสูง

SC-4 เหมาะสำหรับใช้ภายในกล่องถุงมือ (glove box) หรือไม่

Да, если в корпусе достаточно места, есть подходящий проём для доступа и вентиляция, необходимая для процесса нанесения покрытия. Перед заказом уточните габаритные размеры у отдела продаж: sales@fmfpack.com.

ช่วงความเร็วและความละเอียดเป็นเท่าใด

100–9999 об/мин с шагом настройки 1 об/мин. Перед заказом уточните рабочий диапазон поставляемой версии. Шаг 1 об/мин — это разрешение настройки, а не допуск точности.

สามารถเปลี่ยนภาษาของจอแสดงผลได้หรือไม่

ได้ครับ/ค่ะ กดค้างปุ่ม Mode 3 วินาที จากนั้นกดค้างปุ่ม SET 3 วินาทีเพื่อเข้าสู่การตั้งค่าระบบ ใช้ปุ่มซ้าย/ขวาเลือกหัวข้อ Language ใช้ปุ่มขึ้น/ลงเลือก 2. English แล้วกดค้างปุ่ม SET 3 วินาทีเพื่อบันทึก กดปุ่ม Mode เพื่อกลับ

วิธีใช้งานและคู่มือการใช้งานภาษาอังกฤษ

1. Надёжно установите патрон, подключите входящий в комплект вакуумный насос и подключите устройство к источнику питания, соответствующему выбранной версии 110V или 220V.
2. วางซับสเตรตให้อยู่กึ่งกลางโดยคลุมพื้นผิวสุญญากาศของแผ่นยึดและโอริงทั้งหมด แล้วปิดฝา
3. เลือกโหมด Easy Mode หรือ Standard Mode กดค้างปุ่ม SET 3 วินาทีเพื่อแก้ไขค่า ตั้งความเร็ว เวลา และอัตราเร่ง จากนั้นกดค้างปุ่ม SET เพื่อบันทึก
4. เริ่มโปรแกรมและรอให้การหมุนหยุดสนิทก่อนนำซับสเตรตออก

Стандартный режим сохраняет пять рецептов по пять шагов в каждом. Используйте вакуумную трубку 4 мм ID / 6 мм OD и не превышайте замедление системы 3,000 RPM/s. Вакуумный насос входит в комплект, отдельный источник вакуума не требуется. Выберите версию 110V или 220V в соответствии с напряжением вашей местной электросети.

มีคู่มือการใช้งานหรือไม่

อ่านคู่มือการตั้งค่า การโปรแกรม และเมนูภาษาอังกฤษของ SC-4 หรือ ดาวน์โหลดไฟล์ PDF คู่มือการใช้งานภาษาอังกฤษ