Программируемый спин-коатер SC-4 с вакуумным насосом, 9999 об/мин, для пластин 4 дюйма | FMFPAX

Обзор товара

FMFPAX SC-4 — высокоточная компактная лабораторная вакуумная центрифуга-напылитель, предназначенная для нанесения тонких плёнок, покрытия фоторезистом, нанесения покрытий на пластины и подготовки небольших подложек размером до 4 дюймов (100 мм). Благодаря программируемым одношаговым и многошаговым режимам SC-4 позволяет исследователям точно задавать скорость вращения, время работы и темп разгона, обеспечивая равномерное и воспроизводимое покрытие в полупроводниковой отрасли, нанотехнологиях и материаловедении.

Основные характеристики

• Комплект с вакуумным насосом: В стандартную комплектацию входят внешний вакуумный насос и вакуумный патрон, которые обеспечивают надёжную фиксацию подложки сразу после установки, без дополнительной покупки оборудования.
• 100–9999 об/мин, широкий диапазон скоростей: Регулируется от 100 до 9999 об/мин с шагом 1 об/мин и диапазоном ускорения 100–9999 об/мин/с, что позволяет точно управлять технологическим процессом.
• Программируемые многоступенчатые программы: поддерживается как одношаговый, так и многошаговый режим с независимыми настройками скорости, длительности (до 3000 с на шаг) и ускорения для многоступенчатых профилей нанесения.
• Широкий спектр подложек (до 4 дюймов): Подходит для небольших образцов, стеклянных предметных стёкол, токопроводящего стекла ITO и стандартных полупроводниковых пластин диаметром до 4 дюймов.
• Бесщёточный двигатель постоянного тока: Обеспечивает плавное вращение с низкой вибрацией и минимальным уровнем шума, что важно для равномерности тонких плёнок и долгого срока службы в лаборатории.
• Компактная настольная & — готова к установке в перчаточный бокс: компактная конструкция для лабораторных столов, вытяжных шкафов и подходящих перчаточных боксов. Перед установкой проверьте свободное место, размер рабочего проёма и вентиляцию.
• Интуитивное цифровое управление: Передняя ЖК-панель с тактильными кнопками и возможностью переключения меню между английским и китайским языками.
• 110V или 220V, варианты: Выберите напряжение, соответствующее вашей местной сети питания.

Области применения

SC-4 разработана для широкого круга академических, промышленных и полупроводниковых исследований, включая:

• Полупроводники & микроэлектроника: нанесение покрытий на кремниевые пластины, центрифужное нанесение фоторезиста (позитивного и негативного) и подготовка образцов для УФ-фотолитографии.
• Оптика & токопроводящие плёнки: центрифужное нанесение на стеклянные предметные стёкла, токопроводящие стеклянные подложки ITO/FTO и оптические линзы.
• Материаловедение & нанотехнологии: осаждение тонких плёнок золь-гель методом, слои перовскитных солнечных элементов, полимерные плёнки и покрытия из функциональных наноматериалов.
• Биологические & химические лаборатории: обработка небольших чипов, покровных стёкол и подложек с модифицированной поверхностью.

Технические характеристики

Органы управления и разъёмы

• Передняя цифровая ЖК-панель с интуитивно понятными клавишами настройки параметров и управлением режимом, насосом, запуском и паузой.
• Задний вакуумный разъём VAC для быстрого подключения к входящему в комплект вакуумному насосу.
• Защитная прозрачная откидная крышка с чашей от брызг для безопасного удержания технологических жидкостей.

Примечания по настройке &

Вакуумный насос и вакуумная линия входят в комплект, отдельный источник вакуума не требуется. Выберите 110V или 220V в соответствии с местной сетью питания. Перед нанесением покрытия подключите входящий в комплект насос и центрируйте подложку так, чтобы она полностью перекрывала вакуумную поверхность патрона и уплотнительное кольцо.

Часто задаваемые вопросы (FAQ)

Входит ли в комплект SC-4 вакуумный насос?

Да. В отличие от многих отдельных устройств на рынке, в стандартный комплект SC-4 входят внешний вакуумный насос и вакуумная магистраль, что обеспечивает полностью готовую к работе систему.

Какие размеры и типы подложек можно обрабатывать?

SC-4 работает с подложками диаметром или диагональю до 4 дюймов (100 мм), включая стандартные кремниевые пластины, предметные стёкла, кварцевые пластины и токопроводящее стекло ITO/FTO.

Может ли эта центрифуга работать по многоступенчатым программам нанесения?

Да. SC-4 оснащён программируемым многоступенчатым управлением. Оператор может задать скорость, темп разгона и время выдержки для каждого отдельного шага, чтобы получить плавный профиль нанесения, например сначала медленное растекание, затем быстрое утончение плёнки на высокой скорости.

Подходит ли SC-4 для использования внутри перчаточного бокса?

Да, при условии достаточного места в корпусе, подходящего проёма для доступа и вентиляции, необходимой для процесса нанесения покрытия. Перед заказом уточните габаритные размеры на sales@fmfpack.com.

Каков диапазон скоростей и разрешение?

От 100 до 9999 об/мин с шагом настройки 1 об/мин. Перед заказом уточните рабочий диапазон для поставляемого исполнения. Шаг 1 об/мин — это дискретность настройки, а не допуск точности.

Можно ли изменить язык дисплея?

Да. Удерживайте Mode в течение 3 секунд, затем удерживайте SET в течение 3 секунд, чтобы войти в системные настройки. Выберите Language кнопками влево/вправо, выберите 2. English кнопками вверх/вниз и удерживайте SET в течение 3 секунд для сохранения. Нажмите Mode, чтобы вернуться.

Инструкция по использованию и английское руководство пользователя

1. Надёжно установите патрон, подключите входящий в комплект вакуумный насос и подключите прибор к сети питания, соответствующей выбранной версии 110V или 220V.
2. Расположите подложку по центру так, чтобы она полностью перекрывала вакуумную поверхность столика и уплотнительное кольцо; закройте крышку.
3. Выберите Easy Mode или Standard Mode. Удерживайте SET в течение 3 секунд для редактирования; задайте скорость, время и темп разгона, затем удерживайте SET для сохранения.
4. Запустите программу и дождитесь полной остановки вращения перед извлечением подложки.

Стандартный режим хранит пять рецептов по пять шагов в каждом. Используйте вакуумную трубку с внутренним диаметром 4 мм и наружным диаметром 6 мм, а скорость торможения системы не должна превышать 3 000 об/мин/с. Вакуумный насос входит в комплект, поэтому отдельный источник вакуума не нужен. Выберите версию 110V или 220V в соответствии с местной сетью питания.

Есть ли руководство пользователя?

Прочитайте руководство по настройке, программированию и английскому меню для SC-4 или скачайте PDF-версию руководства пользователя на английском языке.