Aparat programabil de depunere prin rotație (spin coater) SC-4 cu pompă de vid, 9999 RPM, pentru plăci de 4 inci | FMFPAX

Prezentare generală a produsului

FMFPAX SC-4 este o centrifugă de depunere prin rotație, de laborator, compactă și de mare precizie, concepută pentru depunerea de straturi subțiri, depunerea de fotorezist, acoperirea de napolitane și pregătirea substraturilor mici de până la 4 inch (100 mm). Cu rețete programabile cu o singură etapă și în mai multe etape, SC-4 le permite cercetătorilor să controleze precis viteza de rotație, durata de rulare și ratele de rampă de accelerare, pentru acoperiri uniforme și repetabile în aplicații din domeniul semiconductorilor, nanotehnologiei și științei materialelor.

Caracteristici principale

• Pachet complet cu pompă de vid: Pachetul standard include o pompă de vid externă și un sistem de mandrină cu vid, care asigură fixarea substratului gata de utilizare, fără echipamente suplimentare.
• 100-9999 RPM, gamă largă de viteze: Reglabilă între 100 și 9999 rpm, cu rezoluție de 1 rpm, împreună cu o gamă de accelerare de 100-9999 rpm/s, pentru un control fin al procesului.
• Rețete programabile în mai multe etape: Acceptă funcționarea cu o singură etapă și în mai multe etape, cu parametri independenți pentru viteză, durată (până la 3000 s pe etapă) și accelerare, pentru curbe de depunere cu mai multe trepte.
• Compatibilitate largă cu substraturile (până la 4 inch): Conceput pentru probe de dimensiuni mici, lamele de sticlă, sticlă conductivă ITO și napolitane standard pentru semiconductori de până la 4 inch.
• Motor de curent continuu fără perii: Asigură o rotație lină, cu vibrații reduse și aproape silențioasă, pentru straturi subțiri extrem de uniforme și o durată lungă de utilizare în laborator.
• Centrifugă compactă de laborator pentru banc de lucru, & compatibilă cu cutii cu mănuși: design compact, destinat băncilor de laborator, hotelor cu extracție și cutiilor cu mănuși compatibile. Verificați spațiul disponibil, deschiderea de acces și ventilația înainte de instalare.
• Comenzi digitale intuitive: Afișaj LCD frontal cu butoane tactile, cu meniu comutabil între limba engleză și limba chineză.
• 110V или 220V, варианты: Выберите напряжение, соответствующее вашей местной электросети.

Aplicații

SC-4 este conceput pentru diverse fluxuri de lucru din cercetarea academică, industrială și din domeniul semiconductorilor, inclusiv:

• Semiconductori & microelectronică: Depunerea prin rotație pe napolitane de siliciu, acoperirea cu fotorezist (pozitiv/negativ) și pregătirea probelor pentru fotolitografie UV.
• Optică & straturi conductoare: Depunere prin rotație pe lamele de sticlă, substraturi de sticlă conductivă ITO/FTO și lentile optice.
• Știința materialelor & nanotehnologie: Depunerea de straturi subțiri prin sol-gel, straturi pentru celule solare cu perovskit, pelicule polimerice și acoperiri din nanomateriale funcționale.
• Laboratoare biologice & chimice: Prelucrarea substraturilor mici, a cipurilor, a lamelelor de acoperire și a substraturilor pentru modificarea suprafeței.

Specificații tehnice

Comenzi și conexiuni

• Ecran LCD digital frontal, cu taste intuitive pentru ajustarea parametrilor și comenzi pentru mod, pompă, pornire și pauză.
• Port de conectare a vidului VAC, în spate, pentru racordarea rapidă la pompa de vid inclusă.
• Capac transparent, cu balama de protecție și cuvă pentru stropi, pentru a reține în siguranță fluidele din proces.

& Note de configurare

Вакуумный насос и вакуумная линия входят в комплект; отдельный источник вакуума не требуется. Выберите 110V или 220V в соответствии с напряжением вашей местной электросети. Перед вращением подключите входящий в комплект насос и центрируйте подложку так, чтобы она полностью перекрывала вакуумную поверхность патрона и уплотнительное кольцо.

Întrebări frecvente (FAQ)

Pachetul SC-4 include o pompă de vid?

Da. Spre deosebire de multe unități independente de pe piață, pachetul standard SC-4 include o pompă de vid externă și conexiunea la conducta de vid, oferind un sistem complet, gata de funcționare.

Ce dimensiuni și tipuri de substrat pot fi procesate?

SC-4 acceptă substraturi cu diametrul sau diagonala de până la 4 inchi (100 mm), inclusiv plachete standard din siliciu, lame de sticlă, plăci de cuarț și sticlă conductivă ITO/FTO.

Poate această centrifugă de depunere să ruleze programe de depunere în mai multe etape?

Da. SC-4 dispune de control programabil în mai multe etape. Operatorii pot personaliza viteza, rampa de accelerare și timpul de menținere pentru fiecare etapă în parte, pentru a crea profiluri de depunere uniforme (de exemplu, o întindere inițială la viteză mică, urmată de subțiere la viteză mare).

Este SC-4 potrivit pentru utilizarea în interiorul unei cutii cu mănuși?

Da, cu condiția ca incinta să aibă spațiu suficient, o deschidere de acces adecvată și ventilație corespunzătoare procesului de depunere. Contactați sales@fmfpack.com pentru a confirma dimensiunile înainte de comandă.

Care este intervalul de viteză și rezoluția?

100–9999 RPM, cu trepte de reglare de 1 RPM. Confirmați intervalul de funcționare pentru versiunea livrată înainte de comandă. Pasul de 1 RPM reprezintă rezoluția setării, nu o toleranță de precizie.

Poate fi schimbată limba afișajului?

Da. Țineți apăsat Mode timp de 3 secunde, apoi țineți apăsat SET timp de 3 secunde pentru a intra în configurarea sistemului. Folosiți stânga/dreapta pentru a selecta Language, sus/jos pentru a selecta 2. English, și țineți apăsat SET timp de 3 secunde pentru a salva. Apăsați Mode pentru a reveni.

Utilizare și manualul de utilizare în limba engleză

1. Надежно установите патрон, подключите входящий в комплект вакуумный насос и подключите устройство к источнику питания, соответствующему выбранной версии 110V или 220V.
2. Centrați un substrat care acoperă complet suprafața de vid a mandrinei și inelul O; închideți capacul.
3. Selectați Easy Mode sau Standard Mode. Țineți apăsat SET timp de 3 secunde pentru editare; setați viteza, timpul și rata de rampă, apoi țineți apăsat SET pentru a salva.
4. Porniți rețeta și așteptați oprirea rotației înainte de descărcare.

Стандартный режим позволяет сохранить пять рецептов с пятью этапами в каждом. Используйте вакуумную трубку с внутренним диаметром 4 мм и наружным диаметром 6 мм, а скорость замедления системы держите не выше 3.000 об/мин/с. Вакуумный насос входит в комплект, поэтому отдельный источник вакуума не нужен. Выберите версию 110V или 220V в соответствии с напряжением вашей местной электросети.

Există un manual de utilizare?

Citiți ghidul SC-4 pentru configurare, programare și meniul în limba engleză, sau descărcați manualul de utilizare în limba engleză, în format PDF.