Spin coater programável SC-4 com bomba de vácuo, 9999 RPM, para bolachas de 4 polegadas | FMFPAX

Descrição do produto

O FMFPAX SC-4 é um revestidor por centrifugação de vácuo para laboratório, compacto e de alta precisão, concebido para deposição de filmes finos, revestimento com fotorresiste, revestimento de bolachas e preparação de substratos pequenos até 4 polegadas (100 mm). Com receitas programáveis de uma ou de várias etapas, a SC-4 permite aos investigadores controlar com precisão a velocidade de rotação, o tempo de execução e as taxas de rampa de aceleração, para obter revestimentos uniformes e repetíveis em aplicações de semicondutores, nanotecnologia e ciência dos materiais.

Principais características

• Conjunto completo com bomba de vácuo: A versão standard inclui uma bomba de vácuo externa e um sistema de mandril de vácuo, permitindo fixar o substrato de imediato, sem necessidade de adquirir equipamento adicional.
• 100-9999 RPM de gama ampla de velocidades: Regulável entre 100 e 9999 rpm, com resolução de 1 rpm, e uma rampa de aceleração de 100-9999 rpm/s para um controlo fino do processo.
• Receitas multietapas programáveis: Suporta operação de uma etapa e de várias etapas, com parâmetros independentes de velocidade, duração (até 3000 s por etapa) e aceleração, para curvas de revestimento de vários níveis.
• Grande compatibilidade de substratos (até 4 polegadas): Concebido para pequenas amostras, lâminas de vidro, vidro condutor ITO e bolachas semicondutoras standard até 4 polegadas.
• Motor DC sem escovas: Assegura uma rotação suave, com baixa vibração e quase silenciosa, para revestimentos de película fina de grande uniformidade e uma longa vida útil em laboratório.
• Centrifugadora de bancada compacta & pronta para caixa de luvas: design compacto para bancadas de laboratório, hottes e caixas de luvas compatíveis. Antes da instalação, verifique o espaço disponível, a abertura de acesso e a ventilação.
• Controlos digitais intuitivos: Ecrã LCD frontal com botões de comando táteis, com menu comutável entre inglês e chinês.
• 110V ou 220V Opções: Escolha a tensão que corresponde à rede elétrica local.

Aplicações

O SC-4 foi concebido para diversos fluxos de trabalho académicos, industriais e de investigação em semicondutores, incluindo:

• Semicondutores & microeletrónica: revestimento de bolachas de silício, revestimento por centrifugação de fotorresistes (positivos/negativos) e preparação de amostras para fotolitografia UV.
• & ótica e películas condutoras: revestimento por centrifugação em lâminas de vidro, substratos de vidro condutor ITO/FTO e lentes óticas.
• Ciência dos materiais & nanotecnologia: deposição de películas finas por sol-gel, camadas de células solares de perovskite, películas poliméricas e revestimentos de nanomateriais funcionais.
• & laboratórios biológicos e químicos: processamento de pequenos chips, lamelas e substratos para modificação de superfícies.

Especificações técnicas

Comandos e ligações

• Ecrã LCD digital frontal com teclas intuitivas de ajuste de parâmetros e controlos de modo, bomba, arranque e pausa.
• Porta de ligação de vácuo VAC na parte traseira, para ligação rápida à bomba de vácuo incluída.
• Tampa transparente articulada com proteção e recipiente de respingos, para conter com segurança os fluidos do processo.

Notas de configuração da & seleção

Uma bomba de vácuo e a respetiva linha de vácuo estão incluídas; não é necessária qualquer fonte de vácuo separada. Escolha 110V ou 220V, conforme a rede elétrica local. Antes de centrifugar, ligue a bomba incluída e centre um substrato que cubra totalmente a superfície de vácuo do mandril e o O-ring.

Perguntas frequentes (FAQ)

O pacote da SC-4 inclui uma bomba de vácuo?

Sim. Ao contrário de muitas unidades autónomas existentes no mercado, o pacote padrão da SC-4 inclui uma bomba de vácuo externa e a ligação da linha de vácuo, proporcionando um sistema completo e pronto a utilizar.

Que dimensões e tipos de substrato podem ser processados?

A SC-4 suporta substratos com até 4 polegadas (100 mm) de diâmetro ou diagonal, incluindo bolachas de silício padrão, lâminas de vidro, placas de quartzo e vidro condutor ITO/FTO.

Este revestidor por centrifugação consegue executar programas de revestimento em várias etapas?

Sim. A SC-4 dispõe de controlo programável em várias etapas. Os operadores podem personalizar a velocidade, a rampa de aceleração e o tempo de permanência de cada etapa, para criar perfis de revestimento uniformes (por exemplo, espalhamento inicial a baixa velocidade seguido de afinamento a alta velocidade).

A SC-4 é adequada para utilização no interior de uma glove box?

Sim, desde que o compartimento tenha espaço suficiente, uma abertura de acesso adequada e ventilação para o processo de revestimento. Contacte sales@fmfpack.com para confirmar as dimensões antes de encomendar.

Qual é a gama e a resolução de velocidade?

100–9999 RPM, com incrementos de ajuste de 1 RPM. Confirme a gama de funcionamento da versão fornecida antes de encomendar. O incremento de 1 RPM corresponde à resolução de regulação, não a uma tolerância de precisão.

O idioma do ecrã pode ser alterado?

Sim. Mantenha premido o modo durante 3 segundos e, em seguida, mantenha premido SET durante 3 segundos para entrar na configuração do sistema. Use esquerda/direita para selecionar Language, cima/baixo para selecionar 2. English, e mantenha premido SET durante 3 segundos para guardar. Prima Mode para voltar.

Modo de utilização e manual do utilizador em inglês

1. Instale o mandril com segurança, ligue a bomba de vácuo incluída e ligue a unidade a uma fonte de alimentação compatível com a versão 110V ou 220V selecionada.
2. Centre um substrato que cubra totalmente a superfície de vácuo do mandril e o O-ring; feche a tampa.
3. Selecione o Easy Mode ou o Standard Mode. Mantenha premido SET durante 3 segundos para editar; defina a velocidade, o tempo e a taxa de rampa e, em seguida, mantenha premido SET para guardar.
4. Inicie a receita e aguarde que a rotação pare antes de descarregar.

O Modo Padrão armazena cinco receitas, com cinco etapas por receita. Utilize tubagem de vácuo de 4 mm de diâmetro interno / 6 mm de diâmetro externo e mantenha a desaceleração do sistema igual ou inferior a 3 000 RPM/s. A bomba de vácuo está incluída, pelo que não é necessária qualquer fonte de vácuo separada. Escolha a versão 110V ou 220V conforme a rede elétrica local.

Existe um manual do utilizador?

Leia o guia de configuração, programação e menus em inglês da SC-4, ou descarregue o PDF do manual do utilizador em inglês.