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FMF

FMF SC-4 コンパクト実験室用真空スピンコーター、真空ポンプ付き、100〜9999 rpm、最大4インチ基板対応のプログラマブルモデル

$1,429.00 USD

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製品概要

SC-4は、薄膜コーティング、ウェハーコーティング、最大4インチまでの小型基板作製に適したコンパクトな実験室用スピンコーターです。単段階および多段階プログラムに対応し、オペレーターは速度、時間、加速度を設定して制御されたコーティングワークフローを実現できます。

主な特長

100-9999 rpmの調整可能なスピン速度範囲で実験室コーティング作業に対応。
100-9999 rpm/sの調整可能な加速度範囲。
単段階および多段階運転が可能で、各段階で速度、時間、加速度を設定できます。
単段階の最大時間は3000秒。
1 rpmの速度分解能で微細なプロセス調整が可能。
ブラシレスDCモーターにより安定したスピンコーティング動作を実現。
LCDディスプレイとボタン操作パネルで直接設定・操作が可能。
中国語・英語のメニュー表示に対応し、必要に応じて言語切替が可能。
コンパクトなボディでベンチトップやグローブボックス内での使用に適しています。
アルミニウム合金シェルにより堅牢な実験装置ボディを実現。
AC100-240Vワイド電圧入力で柔軟な実験室電源対応。
標準パッケージに真空ポンプが含まれています。

用途

SC-4は、最大4インチの基板への実験室スピンコーティングに使用します。ウェハーコーティング、ガラススライドコーティング、ITO導電性ガラスコーティング、小型サンプル調製などに対応します。使用前に、サンプルサイズとプロセス要件に合わせてスピンチャックと真空設定を調整してください。

仕様

モデル	SC-4
製品タイプ	実験室用スピンコーター／スピンコーティングマシン
対応基板サイズ	最大4インチ
速度範囲	100-9999 rpm
加速度範囲	100-9999 rpm/s
最大単段階時間	3000 秒
速度分解能	1 rpm
モーター	ブラシレスDCモーター
シェル材質	アルミニウム合金シェル
入力電圧	AC100-240Vワイド電圧入力
全体寸法	208 mm (幅) x 282 mm (奥行) x 218 mm (高さ)
標準パッケージ	スピンコーター（真空ポンプ付属）

操作部と接続

前面LCDディスプレイとボタン操作パネル、中国語／英語メニュー表示切替可能。
モード、ポンプ、スタート／一時停止ボタンで日常操作を実行。
背面VACポートで真空ラインを接続。
コーティングボウル上の透明ヒンジ付き蓋。

選定上の注意

本モデルはAC100-240Vワイド電圧入力に対応し、標準で真空ポンプが付属します。ご注文前に、基板サイズ、スピンチャック適合性、プラグタイプ、およびラボワークフローに必要なプロセス制御要件をご確認ください。

FAQ

SC-4はどの基板サイズに対応していますか？

対応可能な基板サイズは最大4インチです。

多段階スピンコーティングプログラムは実行できますか？

はい。単段階および多段階運転が可能で、各段階で速度、時間、加速度を設定できます。

速度範囲はどのくらいですか？

速度範囲は100-9999 rpm、分解能は1 rpmです。

シェルの材質は何ですか？

シェルはアルミニウム合金です。

標準パッケージに真空ポンプは含まれていますか？

はい。標準パッケージには真空ポンプが含まれています。

メニュー言語は切り替えられますか？

はい。本機は中国語・英語のメニュー表示に対応しており、必要に応じて言語を切り替えることができます。

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