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FMF EZ4 / SC4 卓上型真空スピンコーター、9999 RPM プログラム可能なタッチスクリーン式スピンコーティング装置、4 インチウェーハ薄膜コーティング用、110V/220V

$1,429.39 USD

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モデルとハウジング EZ4-PP（PPハウジング） SC4-AL（アルミ合金筐体）

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製品概要

EZ4 / SC4 は、フォトレジストコーティング、薄膜コーティング、ウェハコーティング、ガラススライドコーティング、ITO導電性ガラスコーティング、および小サンプル調製ワークフロー向けの卓上真空スピンコーターです。選択可能な2つのモデルは同一のスピンコーティング機能と制御プラットフォームを共有し、外装材質のみが異なります。

モデルオプション

バリエーション	外装材質	SKU
EZ4-PP	PPプラスチック筐体	EZ4-PP
SC4-AL	アルミ合金筐体	SC4-AL

主な特長

最大4インチの基板に対応するコンパクトな実験室用スピンコーター／スピンコーティング装置。
最大9999 RPMの調整可能なスピン速度、1 RPMの速度分解能。
速度、時間、加速度設定によるプログラム可能な単段および多段運転。
最大スピン時間3000秒、1秒の時間分解能。
最大加速度設定9999 RPM/秒。
内径4 mm / 外径6 mmの真空チューブ接続に対応する真空スピンチャック。
透明ヒンジ蓋、前面操作パネル、運転ボタン、真空ボタン、背面のVAC／電源インターフェース。
中国語・英語メニュー表示、言語切替可能。
コンパクトな卓上ボディで、動作環境が装置要件に適合する場合、グローブボックスへの設置も可能。

仕様

モデル	EZ4-PP, SC4-AL
装置タイプ	実験室用スピンコーター／コンパクトスピンプロセッサー
処理可能基板サイズ	最大4インチ
最大スピン速度	9999 RPM（無負荷）
速度分解能	1 RPM
最大スピン時間	3000 秒
時間分解能	1 秒
最大ランプレート	9999 RPM/秒（無負荷）
基板とチャックの適合	標準4-inchウェハまでの互換サンプルに対応。使用前にサンプル深さとチャック適合を確認のこと。
全体寸法	215 mm（幅）× 285 mm（奥行）× 222 mm（高さ）
重量	6 kg
電源入力	100-120V 単相、150W / 200-230V 単相、150W
必要真空度	0.06-0.09 MPa、最低流量1.5 L/分
真空チューブ	内径4 mm、外径6 mm
標準付属品	スピンコーター本体、10 mmチャック、25 mmキャリングプレート、2インチチャック、電源コード、インサート

操作とセットアップ

前面インターフェースでは、速度、時間、加速度のパラメータ設定、およびクイックランと多段運転モードをサポート。
背面にはヒューズ、電源ケーブルソケット、真空配管インターフェースを配置。
真空ラインは外部真空ポンプとチャックを接続し、スピンコーティング中にサンプルを真空で保持。
装置は平坦で安定した通気性の良い場所に設置してから操作すること。

選定の注意点

PPプラスチック筐体を希望する場合はEZ4-PPを、アルミ合金筐体を希望する場合はSC4-ALを選択。ご注文前に基板サイズ、チャック適合、電圧バージョン、プラグタイプ、真空セットアップを確認のこと。

FAQ

EZ4とSC4の違いは何ですか？

記載の違いは外装材質です。EZ4-PPはPPプラスチック筐体、SC4-ALはアルミ合金筐体です。

このスピンコーターはどの基板サイズに対応できますか？

処理可能な基板サイズは最大4インチです。

最大速度は？

最大スピン速度は9999 RPM、分解能は1 RPMです。

多段プログラムは実行できますか？

はい。インターフェースは速度、時間、加速度設定による単段および多段運転をサポートしています。

メニューは英語に対応していますか？

はい。本器は中国語・英語のメニュー表示に対応し、必要に応じて言語を切り替えられます。

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