FMF

EZ4 / SC4 เครื่องเคลือบฟิล์มแบบหมุนสูญญากาศตั้งโต๊ะ ความเร็ว 9999 รอบต่อนาที เครื่องเคลือบฟิล์มแบบสัมผัสโปรแกรมได้สำหรับแผ่นเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว 110V/220V

$1,429.39 USD

~~$0.00 USD~~ $1,429.39 USD

ลดราคา ขายหมดแล้ว

รวมภาษีแล้ว ค่าจัดส่งที่คำนวณในขั้นตอนการชำระเงิน

รุ่นและตัวเครื่อง EZ4-PP (ตัวเรือน PP) SC4-AL (ตัวเรืออลูมิเนียมอัลลอย)

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

EZ4 / SC4 เป็นเครื่องเคลือบสปินสูญญากาศแบบตั้งโต๊ะสำหรับการเคลือบโฟโต้เรซิสต์, การเคลือบฟิล์มบาง, การเคลือบเวเฟอร์, การเคลือบสไลด์แก้ว, การเคลือบแก้วนำไฟฟ้า ITO และกระบวนการเตรียมตัวอย่างขนาดเล็ก รุ่นที่เลือกได้ทั้งสองรุ่นมีฟังก์ชันการเคลือบสปินและแพลตฟอร์มควบคุมเดียวกัน ความแตกต่างในการสั่งซื้อคือวัสดุของตัวเครื่องภายนอก

ตัวเลือกโมเดล

รุ่น	วัสดุตัวเครื่อง	SKU
EZ4-PP	ตัวเครื่องพลาสติก PP	EZ4-PP
SC4-AL	ตัวเครื่องโลหะผสมอลูมิเนียม	SC4-AL

คุณสมบัติหลัก

เครื่องเคลือบสปินขนาดกะทัดรัดสำหรับห้องปฏิบัติการ / เครื่องเคลือบสปินสำหรับวัสดุรองรับขนาดสูงสุด 4 นิ้ว
ปรับความเร็วสปินได้สูงสุด 9999 RPM โดยมีความละเอียดความเร็ว 1 RPM
โปรแกรมการทำงานแบบขั้นตอนเดียวและหลายขั้นตอนที่ตั้งค่าความเร็ว เวลา และความเร่งได้
เวลาสปินสูงสุด 3000 วินาที โดยมีความละเอียดเวลา 1 วินาที
ตั้งค่าความเร่งสูงสุดได้ 9999 RPM/s
หัวจับสปินแบบสูญญากาศพร้อมท่อสูญญากาศขนาด 4 มม. ID / 6 มม. OD
ฝาปิดโปร่งใสแบบบานพับ แผงควบคุมด้านหน้า ปุ่มเริ่มทำงาน ปุ่มสูญญากาศ และพอร์ต VAC / ไฟฟ้าด้านหลัง
เมนูแสดงผลภาษาจีนและอังกฤษ พร้อมตั้งค่าภาษาได้
ตัวเครื่องขนาดกะทัดรัดเหมาะสำหรับติดตั้งในกล่องถุงมือเมื่อสภาพแวดล้อมการใช้งานตรงตามข้อกำหนดของอุปกรณ์

สเปค

รุ่น	EZ4-PP, SC4-AL
ประเภทอุปกรณ์	เครื่องเคลือบสปินห้องปฏิบัติการ / เครื่องประมวลผลสปินขนาดกะทัดรัด
ขนาดวัสดุรองรับที่ใช้ได้	สูงสุด 4 นิ้ว
ความเร็วสปินสูงสุด	9999 RPM (ไม่มีภาระ)
ความละเอียดความเร็ว	1 RPM
เวลาสปินสูงสุด	3000 วินาที
ความละเอียดเวลา	1 วินาที
อัตราการเร่งสูงสุด	9999 RPM/s (ไม่มีภาระ)
การรองรับวัสดุและหัวจับ	ใช้กับตัวอย่างที่เข้ากันได้สูงสุดกับเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 4 นิ้ว; โปรดยืนยันความลึกของตัวอย่างและการเข้ากันได้ของหัวจับก่อนใช้งาน
ขนาดโดยรวม	215 มม. (W) x 285 มม. (D) x 222 มม. (H)
น้ำหนัก	6 กก.
แรงดันไฟฟ้าเข้า	100-120V เฟสเดียว, 150W / 200-230V เฟสเดียว, 150W
ความต้องการสูญญากาศ	0.06-0.09 MPa, อัตราการไหลขั้นต่ำ 1.5 ลิตร/นาที
ท่อสูญญากาศ	4 มม. ID, 6 มม. OD
ชุดมาตรฐาน	อุปกรณ์เครื่องเคลือบสปิน, หัวจับ 10 มม., แผ่นรอง 25 มม., หัวจับ 2 นิ้ว, สายไฟ และอุปกรณ์เสริม

การควบคุมและการตั้งค่า

อินเทอร์เฟซด้านหน้ารองรับการตั้งค่าพารามิเตอร์สำหรับความเร็ว เวลา และความเร่ง รวมถึงโหมดการทำงานแบบรันเร็วและหลายขั้นตอน
ด้านหลังประกอบด้วยฟิวส์ ช่องเสียบสายไฟ และพอร์ตท่อสูญญากาศ
สายสูญญากาศเชื่อมต่อกับปั๊มสูญญากาศภายนอกและหัวจับเพื่อให้ตัวอย่างถูกยึดด้วยสูญญากาศระหว่างการเคลือบสปิน
วางอุปกรณ์บนพื้นผิวเรียบและมั่นคงที่มีการระบายอากาศดี ก่อนเริ่มใช้งาน

หมายเหตุการเลือก

เลือก EZ4-PP หากต้องการตัวเครื่องพลาสติก PP หรือเลือก SC4-AL หากต้องการตัวเครื่องโลหะผสมอลูมิเนียม โปรดยืนยันขนาดวัสดุรองรับ การเข้ากันได้ของหัวจับ รุ่นแรงดันไฟฟ้า ประเภทปลั๊ก และการตั้งค่าสูญญากาศก่อนสั่งซื้อ