• เครื่องหมุนเคลือบในห้องปฏิบัติการ EZ4 SC4 สำหรับการเคลือบฟิล์มบางบนเวเฟอร์ 4 นิ้ว
  • ภาพหลักของเครื่องหมุนเคลือบสุญญากาศแบบตั้งโต๊ะ EZ4 SC4 พร้อมหน้าจอสัมผัส
  • EZ4 SC4 benchtop vacuum spin coater demo video with touch screen and vacuum spin chuck
  • หัวจับสุญญากาศแบบหมุนและฝาปิดแบบบานพับบนเครื่องเคลือบแบบหมุน EZ4 SC4
  • แผงควบคุมเครื่องหมุนเคลือบที่ตั้งโปรแกรมได้ พร้อมปุ่ม RUN และ VACUUM
  • มุมมองด้านข้างของเครื่องหมุนเคลือบในห้องปฏิบัติการ EZ4 ตัวเรือน PP
  • มุมมองด้านข้างของเครื่องหมุนเคลือบในห้องปฏิบัติการ SC4 ตัวเรือนอะลูมิเนียม
  • พอร์ต VAC ด้านหลังและอินเทอร์เฟซไฟสำหรับเครื่องหมุนเคลือบสุญญากาศ
  • การตั้งค่าเครื่องเคลือบแบบหมุนตั้งโต๊ะสำหรับการเตรียมตัวอย่างฟิล์มบาง
1 9

FMF

เครื่องสปินโค้ตเตอร์สุญญากาศแบบตั้งโต๊ะ FMF EZ4 / SC4 เครื่องเคลือบฟิล์มบางแบบตั้งโปรแกรมได้ด้วยหน้าจอสัมผัส 9999 รอบต่อนาที สำหรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว รุ่น 110V/220V

$1,429.39 USD
$0.00 USD $1,429.39 USD
ลดราคา ขายหมดแล้ว
รวมภาษีแล้ว ค่าจัดส่งที่คำนวณในขั้นตอนการชำระเงิน
รุ่นและตัวเรือน

Accepted secure payment methods

Mastercard Visa American Express PayPal Discover JCB Bank Transfer

ภาพรวมผลิตภัณฑ์

เครื่อง EZ4 / SC4 เป็นเครื่องเคลือบแบบหมุนสุญญากาศสำหรับโต๊ะปฏิบัติการ ออกแบบมาเพื่อการเคลือบโฟโตรีซิสต์ เคลือบฟิล์มบาง เคลือบเวเฟอร์ เคลือบสไลด์แก้ว เคลือบแก้วนำไฟฟ้า ITO และการเตรียมตัวอย่างขนาดเล็ก ทั้งสองรุ่นมีฟังก์ชันการเคลือบแบบหมุนและระบบควบคุมเดียวกัน แตกต่างกันที่วัสดุของตัวเครื่องภายนอก

ตัวเลือกรุ่น

รุ่น วัสดุตัวเครื่อง SKU
EZ4-PP ตัวเครื่องพลาสติก PP EZ4-PP
SC4-AL ตัวเครื่องอะลูมิเนียมอัลลอย SC4-AL

คุณสมบัติหลัก

  • เครื่องเคลือบแบบหมุนขนาดกะทัดรัดสำหรับห้องปฏิบัติการ รองรับชิ้นงานได้สูงสุด 4 นิ้ว
  • ปรับความเร็วรอบได้สูงสุด 9999 รอบต่อนาที ความละเอียด 1 รอบต่อนาที
  • ตั้งโปรแกรมการทำงานแบบขั้นตอนเดียวหรือหลายขั้นตอน พร้อมตั้งค่าความเร็ว เวลา และอัตราเร่ง
  • เวลาในการหมุนสูงสุด 3000 วินาที ความละเอียด 1 วินาที
  • อัตราเร่งสูงสุด 9999 รอบต่อนาทีต่อวินาที
  • หัวจับสุญญากาศพร้อมท่อต่อขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 4 มม. / ภายนอก 6 มม.
  • ฝาปิดบานพับโปร่งใส แผงควบคุมด้านหน้า ปุ่มเริ่มทำงาน ปุ่มสุญญากาศ และช่องต่อสุญญากาศ/ไฟด้านหลัง
  • เมนูแสดงผลเป็นภาษาจีนและอังกฤษ สามารถสลับภาษาได้
  • ตัวเครื่องขนาดกะทัดรัดสำหรับโต๊ะปฏิบัติการ สามารถติดตั้งในกล่อง手套ได้หากสภาพแวดล้อมการทำงานเหมาะสม

ข้อมูลจำเพาะ

รุ่น EZ4-PP, SC4-AL
ประเภทอุปกรณ์ เครื่องเคลือบแบบหมุนสำหรับห้องปฏิบัติการ / เครื่องประมวลผลแบบหมุนขนาดกะทัดรัด
ขนาดชิ้นงานที่รองรับ สูงสุด 4 นิ้ว
ความเร็วรอบสูงสุด 9999 รอบต่อนาที (ไม่มีโหลด)
ความละเอียดความเร็ว 1 รอบต่อนาที
เวลาในการหมุนสูงสุด 3000 วินาที
ความละเอียดเวลา 1 วินาที
อัตราเร่งสูงสุด 9999 รอบต่อนาทีต่อวินาที (ไม่มีโหลด)
ความพอดีของชิ้นงานและหัวจับ ใช้กับตัวอย่างที่เข้ากันได้สูงสุดถึงเวเฟอร์มาตรฐาน 4-inch; ตรวจสอบความลึกของตัวอย่างและความพอดีของหัวจับก่อนใช้งาน
ขนาดโดยรวม 215 มม. (กว้าง) x 285 มม. (ลึก) x 222 มม. (สูง)
น้ำหนัก 6 กก.
แหล่งจ่ายไฟ 100-120V เฟสเดียว, 150W / 200-230V เฟสเดียว, 150W
สุญญากาศที่ต้องการ 0.06-0.09 MPa, อัตราการไหลขั้นต่ำ 1.5 ลิตร/นาที
ท่อสุญญากาศ เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 4 มม., ภายนอก 6 มม.
ชุดมาตรฐาน ตัวเครื่องเคลือบแบบหมุน, หัวจับขนาด 10 มม., แผ่นรองรับขนาด 25 มม., หัวจับขนาด 2 นิ้ว, สายไฟ และคู่มือ

การควบคุมและการตั้งค่า

  • แผงด้านหน้ารองรับการตั้งค่าพารามิเตอร์สำหรับความเร็ว เวลา และอัตราเร่ง รวมถึงโหมดการทำงานแบบรันเร็วและหลายขั้นตอน
  • ด้านหลังประกอบด้วยฟิวส์ ช่องเสียบสายไฟ และช่องต่อท่อสุญญากาศ
  • สายสุญญากาศเชื่อมต่อปั๊มสุญญากาศภายนอกกับหัวจับ เพื่อยึดชิ้นงานด้วยแรงดูดระหว่างการเคลือบแบบหมุน
  • วางอุปกรณ์บนพื้นผิวเรียบ มั่นคง และมีอากาศถ่ายเทสะดวกก่อนใช้งาน

ข้อควรพิจารณาในการเลือกรุ่น

เลือกรุ่น EZ4-PP หากต้องการตัวเครื่องพลาสติก PP หรือเลือกรุ่น SC4-AL หากต้องการตัวเครื่องอะลูมิเนียมอัลลอย ตรวจสอบขนาดชิ้นงาน ความพอดีของหัวจับ รุ่นแรงดันไฟฟ้า ชนิดปลั๊ก และการตั้งค่าระบบสุญญากาศก่อนสั่งซื้อ

คำถามที่พบบ่อย

EZ4 และ SC4 แตกต่างกันอย่างไร?

ความแตกต่างที่ระบุคือวัสดุตัวเครื่องภายนอก: EZ4-PP ใช้ตัวเครื่องพลาสติก PP ส่วน SC4-AL ใช้ตัวเครื่องอะลูมิเนียมอัลลอย

เครื่องเคลือบแบบหมุนนี้รองรับชิ้นงานขนาดเท่าใด?

ขนาดชิ้นงานที่รองรับสูงสุดคือ 4 นิ้ว

ความเร็วสูงสุดเท่าใด?

ความเร็วรอบสูงสุดที่ระบุคือ 9999 รอบต่อนาที ความละเอียด 1 รอบต่อนาที

สามารถทำงานแบบหลายขั้นตอนได้หรือไม่?

ได้ ระบบรองรับการทำงานแบบขั้นตอนเดียวและหลายขั้นตอน พร้อมตั้งค่าความเร็ว เวลา และอัตราเร่ง

เมนูรองรับภาษาอังกฤษหรือไม่?

ได้ เครื่องรองรับการแสดงผลเมนูทั้งภาษาจีนและอังกฤษ และสามารถสลับภาษาได้ตามต้องการ

ดูรายละเอียดทั้งหมด

คุณอาจจะชอบด้วยเช่นกัน