Programmerbar spincoater SC-4 med vakuumpump, 9999 RPM för 4 tums wafer | FMFPAX

Produktöversikt

FMFPAX SC-4 är en högprecis, kompakt vakuumspincoater för laboratorier, avsedd för tunnfilmsdeposition, fotoresistbeläggning, waferbeläggning och förberedelse av små substrat upp till 4 tum (100 mm). Med programmerbara recept för enstegs- och flerstegskörning gör SC-4 det möjligt för forskare att exakt styra spinnhastighet, körtid och accelerationsramp för jämn och repeterbar beläggning inom halvledar-, nanoteknik- och materialvetenskapliga tillämpningar.

Viktiga egenskaper

• Komplett paket med vakuumpump: Standardpaketet innehåller en extern vakuumpump och vakuumchuck, vilket ger en färdig lösning för att hålla fast substratet utan att behöva köpa extra utrustning.
• 100–9999 varv/min brett hastighetsområde: Justerbart från 100 till 9999 varv/min med en upplösning på 1 varv/min, kombinerat med ett accelerationsområde på 100–9999 varv/min per sekund för finstyrd processkontroll.
• Programmerbara flerstegsrecept: Stödjer både enstegs- och flerstegskörning, med oberoende hastighet, varaktighet (upp till 3000 s per steg) och acceleration för flernivåkurvor vid beläggning.
• Bred substratkompatibilitet (upp till 4 tum): Konstruerad för små prover, objektglas, ITO-ledande glas och vanliga halvledarwafers upp till 4 tum.
• Borstlös likströmsmotor: Ger jämn, vibrationssnål och nästan ljudlös rotation för ytterst jämna tunnfilmsbeläggningar och lång livslängd i laboratoriemiljö.
• Kompakt bänkmodell & klar för handskfack: Kompakt konstruktion för laboratoriebänkar, dragskåp och lämpliga handskfack. Kontrollera tillgängligt utrymme, åtkomstöppning och ventilation innan installation.
• Intuitiva digitala reglage: LCD-display framtill med taktila knappar, med växlingsbar meny på engelska och kinesiska.
• 110V eller 220V alternativ: Välj den spänning som motsvarar ditt lokala elnät.

Användningsområden

SC-4 är konstruerad för olika akademiska, industriella och halvledarrelaterade forskningsarbetsflöden, bland annat:

• Halvledare & mikroelektronik: Beläggning av kiselwafers, spinnbeläggning med fotoresist (positiv/negativ) och provberedning för UV-fotolitografi.
• Optiska & ledande filmer: Spinnbeläggning på objektglas, ITO-/FTO-ledande glassubstrat och optiska linser.
• Materialvetenskap & nanoteknik: Tunnfilmsdeposition med sol-gel, lager för perovskitsolceller, polymerfilmer och beläggningar av funktionella nanomaterial.
• Biologiska & kemilaboratorier: Bearbetning av små chips, täckglas och substrat för ytmodifiering.

Tekniska specifikationer

Reglage och anslutningar

• Digital LCD-skärm på framsidan med intuitiva knappar för parameterinställning samt knappar för läge, pump, start och paus.
• Vakuumanslutning VAC på baksidan för snabb anslutning till den medföljande vakuumpumpen.
• Skyddande genomskinligt gångjärnslock med stänkskål som säkert innesluter processvätskor.

& Installationsanvisningar

Vakuumpump och vakuumslang ingår, så ingen separat vakuumkälla behövs. Välj 110V eller 220V beroende på ditt lokala elnät. Anslut den medföljande pumpen innan centrifugering och placera ett substrat som helt täcker chuckens vakuumyta och O-ringen.

Vanliga frågor (FAQ)

Ingår en vakuumpump i paketet till SC-4?

Ja. Till skillnad från många fristående enheter på marknaden ingår en extern vakuumpump och vakuumslanganslutning i standardpaketet till SC-4, vilket ger ett komplett system som är klart att användas.

Vilka substratstorlekar och -typer kan bearbetas?

SC-4 hanterar substrat med en diameter eller diagonal på upp till 4 tum (100 mm), inklusive vanliga kiselwafers, objektglas, kvartsplattor och ITO/FTO-ledande glas.

Kan spinnbeläggaren köra flerstegsprogram för beläggning?

Ja. SC-4 har programmerbar flerstegsstyrning. Användaren kan anpassa hastighet, accelerationsramp och väntetid för varje enskilt steg för att skapa jämna beläggningsprofiler, till exempel inledande spridning vid låg hastighet följt av förtunning vid hög hastighet.

Är SC-4 lämplig att använda i en handskbox?

Ja, förutsatt att kapslingen har tillräckligt utrymme, en lämplig åtkomstöppning och ventilation för beläggningsprocessen. Kontakta sales@fmfpack.com för att bekräfta måtten före beställning.

Vilket hastighetsområde och vilken upplösning har enheten?

100–9999 varv/min med inställningssteg om 1 varv/min. Bekräfta driftområdet för din levererade version innan beställning. Steget 1 varv/min är inställningsupplösningen, inte en noggrannhetstolerans.

Kan displayspråket ändras?

Ja. Håll Mode intryckt i 3 sekunder och håll sedan SET intryckt i 3 sekunder för att öppna systeminställningarna. Använd vänster/höger för att välja Language, upp/ned för att välja 2. English och håll SET intryckt i 3 sekunder för att spara. Tryck på Mode för att gå tillbaka.

Användning och engelsk användarhandbok

1. Montera chucken ordentligt, anslut den medföljande vakuumpumpen och anslut enheten till ett nätaggregat som motsvarar den valda versionen, 110V eller 220V.
2. Centrera ett substrat som helt täcker chuckens vakuumyta och O-ringen; stäng locket.
3. Välj Easy Mode eller Standard Mode. Håll SET intryckt i 3 sekunder för att redigera; ställ in hastighet, tid och rampshastighet och håll sedan SET intryckt för att spara.
4. Starta receptet och vänta tills rotationen har stannat innan du tar ut substratet.

Standardläget lagrar fem recept med fem steg per recept. Använd vakuumslang med 4 mm innerdiameter och 6 mm ytterdiameter och håll systemets retardation vid eller under 3 000 RPM/s. Vakuumpumpen ingår, så ingen separat vakuumkälla krävs. Välj versionen 110V eller 220V beroende på ditt lokala elnät.

Finns det en användarhandbok?

Läs installations-, programmerings- och engelska menyguiden för SC-4, eller ladda ner den engelska användarhandboken som PDF.