Programovateľný rotačný nanášač SC-4 s vákuovou pumpou, 9999 ot/min pre 4-palcové wafery | FMFPAX

Přehled produktu

FMFPAX SC-4 je vysoko presný, kompaktný laboratórny vákuový rotačný nanášač určený na nanášanie tenkých vrstiev, nanášanie fotorezistov, nanášanie na wafery a prípravu malých substrátov do veľkosti 4 palce (100 mm). Vďaka jednokrokovým a viackrokovým programovateľným receptom umožňuje SC-4 výskumníkom presne riadiť otáčky, dĺžku behu a rýchlosť rampy zrýchlenia pre rovnomerné a opakovateľné nanášanie v polovodičových, nanotechnologických a materiálovovedných aplikáciách.

Hlavné vlastnosti

• Kompletné balenie s vákuovou pumpou: Štandardné balenie obsahuje externú vákuovú pumpu a vákuový upínací stôl, takže substrát možno upevniť hneď po vybalení bez nutnosti dokupovať ďalšie zariadenia.
• 100–9999 ot/min, široký rozsah otáčok: Nastaviteľné od 100 do 9999 ot/min s rozlíšením 1 ot/min a rozsahom zrýchlenia 100–9999 ot/min/s pre jemné riadenie procesu.
• Programovateľné viackrokové recepty: Podporuje jednokrokový aj viackrokový režim s nezávislými nastaveniami otáčok, trvania (až 3000 s na krok) a zrýchlenia pre viacstupňové nanášacie krivky.
• Široká kompatibilita substrátov (až do 4 palcov): Určené pre malé vzorky, sklenené podložky, vodivé sklo ITO a štandardné polovodičové wafery s priemerom až 4 palce.
• Bezkefový jednosmerný motor: Zabezpečuje plynulé, takmer bezvibračné a veľmi tiché otáčanie, vďaka čomu sú nánosy tenkých vrstiev mimoriadne rovnomerné a zariadenie má dlhú životnosť v laboratóriu.
• Kompaktný laboratórny & pripravený na rukavicový box: kompaktná konštrukcia pre laboratórne pracovné stoly, digestory a vhodné rukavicové boxy. Pred inštaláciou skontrolujte dostupný priestor, otvor na prístup a vetranie.
• Intuitívne digitálne ovládanie: Predný LCD displej s hmatateľnými tlačidlami a prepínateľným menu v angličtine a čínštine.
• 110V или 220V Варианты: Выберите напряжение, соответствующее вашей местной электросети.

Oblasti použitia

SC-4 je navrhnutý pre rozmanité akademické, priemyselné a polovodičové výskumné postupy, najmä na:

• Polovodiče & mikroelektronika: Nanášanie vrstiev na kremíkové wafery, rotačné nanášanie fotorezistov (pozitívnych a negatívnych) a príprava vzoriek pre UV fotolitografiu.
• Optika & vodivé vrstvy: Rotačné nanášanie na sklenené podložky, substráty z vodivého skla ITO/FTO a optické šošovky.
• Materiálové vedy & nanotechnológie: Nanášanie tenkých vrstiev sol-gel metódou, vrstvy perovskitových solárnych článkov, polymérne fólie a funkčné nanomateriálové povlaky.
• Biologické & chemické laboratóriá: Spracovanie malých čipov, krycích sklíčok a substrátov pre úpravu povrchu.

Technické parametre

Ovládacie prvky a prípojky

• Predný digitálny LCD displej s intuitívnymi tlačidlami na nastavovanie parametrov a ovládaním režimu, pumpy, štartu a pozastavenia.
• Zadný vákuový pripojovací port VAC na rýchle pripojenie k dodanej vákuovej pumpe.
• Ochranný priehľadný výklopný kryt s miskou na zachytávanie procesných kvapalín.

& Poznámky k nastaveniu

Вакуумный насос и вакуумная линия входят в комплект; отдельный источник вакуума не требуется. Выберите 110V или 220V в соответствии с вашей местной электросетью. Перед вращением подключите входящий в комплект насос и отцентрируйте подложку так, чтобы она полностью перекрывала вакуумную поверхность патрона и уплотнительное кольцо.

Často kladené otázky (FAQ)

Obsahuje balenie SC-4 vákuovú pumpu?

Áno. Na rozdiel od mnohých samostatných zariadení na trhu obsahuje štandardné balenie SC-4 externú vákuovú pumpu a pripojenie vákuovej hadice, čím vzniká kompletný systém pripravený na prevádzku.

Aké veľké a aké typy substrátov je možné spracovať?

Zariadenie SC-4 pracuje so substrátmi s priemerom alebo uhlopriečkou až 4 palce (100 mm), vrátane štandardných kremíkových waferov, sklených podložiek, kremenných doštičiek a vodivého skla ITO/FTO.

Dokáže tento rotačný nanášač spúšťať viackrokové nanášacie programy?

Áno. SC-4 disponuje programovateľným viackrokovým riadením. Obsluha môže pre každý krok prispôsobiť otáčky, rampu zrýchlenia a čas zotrvania, a vytvoriť tak plynulé nanášacie profily (napr. počiatočné rozprestretie pri nízkych otáčkach a následné sľaďovanie pri vysokých otáčkach).

Je SC-4 vhodný na použitie vo vnútri rukavicového boxu?

Áno, za predpokladu, že kryt má dostatok priestoru, vhodný prístupový otvor a vetranie vhodné pre proces nanášania. Rozmery pred objednávkou potvrdíte na adrese sales@fmfpack.com.

Aký je rozsah otáčok a rozlíšenie?

100–9999 ot/min s krokom nastavenia 1 ot/min. Prevádzkový rozsah pre dodanú verziu potvrďte pred objednaním. Krok 1 ot/min predstavuje rozlíšenie nastavenia, nie toleranciu presnosti.

Dá sa zmeniť jazyk displeja?

Áno. Podržte tlačidlo Mode 3 sekundy, potom podržte SET 3 sekundy, čím vstúpite do konfigurácie systému. Pomocou tlačidiel vľavo/vpravo vyberte položku Language, pomocou tlačidiel hore/dole zvoľte 2. English a podržaním SET na 3 sekundy uložte. Návrat stlačte tlačidlom Mode.

Obsluha a anglický používateľský návod

1. Надежно установите патрон, подключите входящий в комплект вакуумный насос и подключите устройство к источнику питания, соответствующему выбранной версии 110V или 220V.
2. Vycentrujte substrát, ktorý úplne pokrýva vákuovú plochu držiaka a tesnenie O-krúžkom; zatvorte kryt.
3. Zvoľte Easy Mode alebo Standard Mode. Podržaním SET na 3 sekundy vstúpite do úprav; nastavte otáčky, čas a rýchlosť rampy a potom podržaním SET uložte.
4. Spustite recept a pred vybratím substrátu počkajte, kým sa rotácia zastaví.

Стандартный режим хранит пять рецептов по пять шагов в каждом. Используйте вакуумную трубку 4 мм ID / 6 мм OD и не допускайте замедления системы выше 3 000 об/мин/с. Вакуумный насос входит в комплект, поэтому отдельный источник вакуума не требуется. Выберите версию 110V или 220V в соответствии с вашей местной электросетью.

Existuje používateľská príručka?

Prečítajte si sprievodcu nastavením, programovaním a anglickým menu k SC-4 alebo si stiahnite anglický používateľský návod vo formáte PDF.