FMF
EZ4 / SC4 Revestidor a Vácuo de Bancada, Máquina de Revestimento por Rotação Programável com Tela Touch para Revestimento de Filme Fino em Wafer de 4 Polegadas, 110V/220V
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Visão Geral do Produto
O EZ4 / SC4 é um spin coater a vácuo de bancada para revestimento de fotoresiste, revestimento de filme fino, revestimento de wafer, revestimento de lâmina de vidro, revestimento de vidro condutor ITO e fluxos de trabalho de preparação de pequenas amostras. Os dois modelos selecionáveis compartilham a mesma função de spin coating e plataforma de controle; a diferença na encomenda é o material da carcaça externa.
Opções de Modelo
| Variante | Material da carcaça | SKU |
|---|---|---|
| EZ4-PP | Carcaça de plástico PP | EZ4-PP |
| SC4-AL | Carcaça de liga de alumínio | SC4-AL |
Principais Características
- Spin coater compacto de laboratório / máquina de spin coating para substratos de até 4 polegadas.
- Velocidade de rotação ajustável até 9999 RPM com resolução de velocidade de 1 RPM.
- Operação programável em passo único e múltiplos passos com configurações de velocidade, tempo e aceleração.
- Tempo máximo de rotação de 3000 s com resolução de tempo de 1 s.
- Configuração máxima de aceleração de 9999 RPM/s.
- Mandril de spin a vácuo com conexão de tubo de vácuo de 4 mm ID / 6 mm OD.
- Tampa articulada transparente, painel de controle frontal, botão de execução, botão de vácuo e interfaces VAC / energia traseiras.
- Exibição de menu em chinês e inglês com configuração de idioma alternável.
- Corpo compacto de bancada adequado para instalação em caixa de luvas quando o ambiente operacional atender aos requisitos do equipamento.
Especificações
| Modelos | EZ4-PP, SC4-AL |
|---|---|
| Tipo de equipamento | Spin coater de laboratório / processador compacto de spin |
| Tamanho do substrato processável | Até 4 polegadas |
| Velocidade máxima de rotação | 9999 RPM (sem carga) |
| Resolução de velocidade | 1 RPM |
| Tempo máximo de rotação | 3000 s |
| Resolução de tempo | 1 s |
| Taxa máxima de aceleração | 9999 RPM/s (sem carga) |
| Compatibilidade de substrato e mandril | Uso com amostras compatíveis de até um wafer padrão de 4 polegadas; confirme a profundidade da amostra e o encaixe do mandril antes da operação. |
| Tamanho total | 215 mm (W) x 285 mm (D) x 222 mm (H) |
| Peso | 6 kg |
| Entrada de energia | 100-120V monofásico, 150W / 200-230V monofásico, 150W |
| Vácuo requerido | 0,06-0,09 MPa, taxa mínima de fluxo de 1,5 L/min |
| Tubulação de vácuo | 4 mm ID, 6 mm OD |
| Pacote padrão | Equipamento spin coater, mandril de 10 mm, placa de transporte de 25 mm, mandril de 2 polegadas, cabo de energia e inserto |
Controles e Configuração
- A interface frontal suporta configuração de parâmetros para velocidade, tempo e aceleração, além de modos de operação rápida e multi-step.
- A parte traseira inclui fusível, soquete do cabo de energia e interface do tubo de vácuo.
- A linha de vácuo conecta a bomba de vácuo externa e o mandril para que a amostra possa ser mantida por vácuo durante o spin coating.
- Coloque o equipamento sobre uma superfície plana e estável com boa ventilação antes da operação.
Notas de Seleção
Escolha EZ4-PP quando preferir uma carcaça de plástico PP, ou escolha SC4-AL quando preferir uma carcaça de liga de alumínio. Confirme o tamanho do substrato, encaixe do mandril, versão de voltagem, tipo de plugue e configuração de vácuo antes de fazer o pedido.
Perguntas Frequentes
Qual é a diferença entre EZ4 e SC4?
A diferença listada é o material da carcaça externa: EZ4-PP usa carcaça de plástico PP, enquanto SC4-AL usa carcaça de liga de alumínio.
Qual tamanho de substrato este spin coater pode processar?
O tamanho processável listado é de até 4 polegadas.
Qual é a velocidade máxima?
A velocidade máxima de rotação listada é 9999 RPM com resolução de 1 RPM.
Ele pode executar programas multi-step?
Sim. A interface suporta operação em passo único e múltiplos passos com configurações de velocidade, tempo e aceleração.
O menu suporta inglês?
Sim. O instrumento suporta exibição de menu em chinês e inglês, e o idioma pode ser alternado conforme necessário.




