Programowalna wirówka do powlekania SC-4 z pompą próżniową, 9999 RPM, do płytek 4-calowych | FMFPAX

Przegląd produktu

FMFPAX SC-4 to wysokiej precyzji, kompaktowa laboratoryjna wirówka próżniowa przeznaczona do nanoszenia cienkich warstw, powlekania fotorezystami, powlekania płytek i przygotowania małych podłoży o wymiarach do 4 cali (100 mm). Dzięki jednoetapowym i wieloetapowym programowalnym recepturom SC-4 pozwala badaczom precyzyjnie kontrolować prędkość obrotową, czas pracy i szybkość rampy przyspieszenia, zapewniając jednorodne i powtarzalne powlekanie w zastosowaniach półprzewodnikowych, nanotechnologicznych oraz z zakresu inżynierii materiałowej.

Najważniejsze cechy

• Zestaw kompletny z pompą próżniową: Standardowe wyposażenie obejmuje zewnętrzną pompę próżniową oraz uchwyt próżniowy, dzięki czemu podłoże jest mocowane od razu, bez konieczności dokupowania dodatkowego sprzętu.
• Szeroki zakres prędkości 100–9999 obr./min: Regulacja od 100 do 9999 obr./min z rozdzielczością 1 obr./min, wraz z zakresem rampy przyspieszenia 100–9999 obr./min/s, co zapewnia precyzyjną kontrolę procesu.
• Programowalne receptury wieloetapowe: Obsługuje zarówno pracę jednoetapową, jak i wieloetapową, z niezależnymi parametrami prędkości, czasu trwania (do 3000 s na etap) i przyspieszenia, umożliwiając wielostopniowe krzywe powlekania.
• Szeroka kompatybilność podłoży (do 4 cali): Przeznaczona do małych próbek, szkiełek mikroskopowych, szkła przewodzącego ITO oraz standardowych płytek półprzewodnikowych o średnicy do 4 cali.
• Silnik prądu stałego bezszczotkowy: Zapewnia płynny, niskowibracyjny i niemal bezgłośny obrót, co przekłada się na wyjątkowo równomierne powłoki cienkowarstwowe oraz długą żywotność w warunkach laboratoryjnych.
• Kompaktowy stołowy & gotowy do zabudowy w komorze rękawicowej: zwarta konstrukcja do laboratoryjnych stołów, digestoriów i odpowiednich komór rękawicowych. Przed montażem sprawdź dostępną przestrzeń, otwór dostępowy oraz wentylację.
• Intuicyjne sterowanie cyfrowe: Przedni wyświetlacz LCD z przyciskami dotykowymi oraz możliwością przełączania menu między językiem angielskim a chińskim.
• 110V lub 220V Opcje: Wybierz napięcie zgodne z lokalną siecią zasilającą.

Zastosowania

SC-4 został zaprojektowany z myślą o różnorodnych zastosowaniach badawczych w środowisku akademickim, przemysłowym i półprzewodnikowym, w tym:

• Półprzewodniki i & mikroelektronika: powlekanie płytek krzemowych, nanoszenie fotorezystu (pozytywnego i negatywnego) metodą wirowania oraz przygotowanie próbek do fotolitografii UV.
• Optyka i & warstwy przewodzące: nanoszenie powłok metodą wirowania na szkiełkach mikroskopowych, podłożach z przewodzącego szkła ITO/FTO oraz na soczewkach optycznych.
• Inżynieria materiałowa i & nanotechnologia: osadzanie cienkich warstw metodą zol-żel, warstwy ogniw perowskitowych, folie polimerowe oraz powłoki z funkcjonalnych nanomateriałów.
• Laboratoria biologiczne i & chemiczne: przetwarzanie małych chipów, szkiełek nakrywkowych oraz podłoży poddawanych modyfikacji powierzchni.

Specyfikacja techniczna

Elementy sterujące i złącza

• Przedni cyfrowy wyświetlacz LCD z intuicyjnymi przyciskami regulacji parametrów oraz przyciskami trybu, pompy, startu i pauzy.
• Tylne złącze próżniowe VAC do szybkiego podłączenia do dołączonej pompy próżniowej.
• Ochronna przezroczysta pokrywa na zawiasach z misą zabezpieczającą przed rozpryskiem, która bezpiecznie zatrzymuje płyny procesowe.

& Uwagi dotyczące konfiguracji

Pompa próżniowa oraz przewód próżniowy są w zestawie; nie jest potrzebne osobne źródło próżni. Wybierz wersję 110V lub 220V zgodnie z lokalną siecią zasilającą. Przed rozpoczęciem wirowania podłącz dołączoną pompę i wycentruj podłoże tak, aby w pełni przykrywało powierzchnię próżniową uchwytu oraz uszczelkę O-ring.

Często zadawane pytania (FAQ)

Czy zestaw SC-4 zawiera pompę próżniową?

Tak. W przeciwieństwie do wielu samodzielnych urządzeń dostępnych na rynku, standardowy zestaw SC-4 obejmuje zewnętrzną pompę próżniową oraz przyłącze przewodu próżniowego, dzięki czemu otrzymujesz kompletny system gotowy do pracy.

Jakie rozmiary i rodzaje podłoży można przetwarzać?

SC-4 obsługuje podłoża o średnicy lub przekątnej do 4 cali (100 mm), w tym standardowe płytki krzemowe, szkiełka podstawowe, płytki kwarcowe oraz szkło przewodzące ITO/FTO.

Czy ta wirówka może wykonywać wieloetapowe programy powlekania?

Tak. SC-4 posiada programowalne sterowanie wieloetapowe. Operator może dostosować prędkość, rampę przyspieszenia i czas przetrzymania dla każdego etapu, aby uzyskać płynne profile powlekania (np. początkowe rozprowadzanie przy niskiej prędkości, a następnie cienkowarstwowe wyrównywanie przy wysokiej prędkości).

Czy SC-4 nadaje się do użytku wewnątrz komory rękawicowej?

Tak, pod warunkiem że obudowa ma wystarczająco dużo miejsca, odpowiedni otwór dostępu oraz wentylację odpowiednią dla procesu powlekania. Aby potwierdzić wymiary przed złożeniem zamówienia, napisz na adres sales@fmfpack.com.

Jaki jest zakres i rozdzielczość prędkości?

100–9999 obr./min, z krokiem nastawy 1 obr./min. Przed złożeniem zamówienia potwierdź zakres pracy dla dostarczanej wersji. Krok 1 obr./min określa rozdzielczość nastawy, a nie tolerancję dokładności.

Czy można zmienić język wyświetlacza?

Tak. Przytrzymaj Mode przez 3 sekundy, następnie przytrzymaj SET przez 3 sekundy, aby przejść do konfiguracji systemu. Użyj strzałek lewo/prawo, aby wybrać Language, strzałek góra/dół, aby wybrać 2. English, i przytrzymaj SET przez 3 sekundy, aby zapisać. Naciśnij Mode, aby wrócić.

Obsługa i angielska instrukcja użytkownika

1. Zamocuj uchwyt w sposób pewny, podłącz dołączoną pompę próżniową i zasil urządzenie z sieci o parametrach odpowiadających wybranej wersji 110V lub 220V.
2. Umieść podłoże centralnie tak, aby w pełni pokrywało powierzchnię próżniową uchwytu i uszczelkę O-ring; zamknij pokrywę.
3. Wybierz Easy Mode lub Standard Mode. Przytrzymaj SET przez 3 sekundy, aby edytować; ustaw prędkość, czas i szybkość rampy, następnie przytrzymaj SET, aby zapisać.
4. Uruchom recepturę i poczekaj, aż obrót się zatrzyma, zanim wyjmiesz podłoże.

Tryb standardowy umożliwia zapisanie pięciu receptur, z pięcioma krokami w każdej z nich. Stosuj przewód próżniowy o średnicy wewnętrznej 4 mm i zewnętrznej 6 mm, a hamowanie układu utrzymuj na poziomie nie większym niż 3 000 obr./min na sekundę. Pompa próżniowa jest w zestawie, więc nie jest wymagane osobne źródło próżni. Wybierz wersję 110V lub 220V zgodnie z lokalną siecią zasilającą.

Czy dostępna jest instrukcja obsługi?

Przeczytaj przewodnik po konfiguracji, programowaniu i angielskim menu SC-4 lub pobierz angielską instrukcję użytkownika w formacie PDF.