Programmerbar spin coater SC-4 med vakuumpumpe, 9999 RPM for 4-tommers wafere | FMFPAX

Produktoversikt

FMFPAX SC-4 er en høypresis, kompakt vakuumspincoater for laboratorium, designet for tynnfilmavsetning, fotoresistbelegging, waferbelegging og klargjøring av små underlag opp til 4 tommer (100 mm). Med enkeltrinns- og programmerbare flertrinnsoppskrifter gir SC-4 forskere presis kontroll over spinnhastighet, kjøretid og akselerasjonsrampe, for jevn og repeterbar belegging innen halvledere, nanoteknologi og materialvitenskap.

Viktige egenskaper

• Komplett pakke med vakuumpumpe: Standardpakken inkluderer en ekstern vakuumpumpe og vakuumchuck, slik at underlaget kan festes med én gang, uten behov for å kjøpe ekstra utstyr.
• 100–9999 o/min bredt hastighetsområde: Justerbar fra 100 til 9999 o/min med en oppløsning på 1 o/min, kombinert med et akselerasjonsområde på 100–9999 o/min per sekund for finjustert prosesskontroll.
• Programmerbare flertrinnsoppskrifter: Støtter både enkeltrinns- og flertrinnsdrift, med uavhengige parametere for hastighet, varighet (opptil 3000 s per trinn) og akselerasjon for flerlags beleggingskurver.
• Bred underlagskompatibilitet (opptil 4 tommer): Konstruert for små prøver, glassplater, ITO-ledende glass og standard halvlederwafere opptil 4 tommer.
• Børsteløs likestrømsmotor: Gir jevn, lavvibrasjonsrotasjon med lite støy, som gir svært jevne tynnfilmbelegg og lang levetid i laboratoriet.
• Kompakt benkmodell & klar for hanskeboks: Kompakt design for laboratoriebenker, avtrekksskap og egnede hanskebokser. Kontroller tilgjengelig plass, åpning for adkomst og ventilasjon før installasjon.
• Intuitive digitale kontroller: LCD-skjerm foran med taktile knapper, med valgbar meny på engelsk eller kinesisk.
• 110V eller 220V alternativer: Velg spenningen som passer til nettspenningen der du bor.

Bruksområder

SC-4 er konstruert for ulike akademiske, industrielle og halvlederrelaterte forskningsarbeidsflyter, blant annet:

• Halvleder & mikroelektronikk: Belegging av silisiumwafere, spinnbelegging av fotoresist (positiv/negativ) og prøveforberedelse for UV-fotolitografi.
• Optiske & ledende filmer: Spinnbelegging på glassplater, ITO/FTO-ledende glass som underlag og optiske linser.
• Materialvitenskap & nanoteknologi: Sol-gel-avsetning av tynne filmer, lag for perovskittsolceller, polymerfilmer og funksjonelle nanomaterialbelegg.
• Biologiske & kjemiske laboratorier: Prosessering av små brikker, dekkglass og underlag for overflatemodifisering.

Tekniske spesifikasjoner

Kontroller og tilkoblinger

• Digital LCD-skjerm foran med intuitive knapper for parameterjustering og kontroller for modus, pumpe, start og pause.
• Bakre VAC-tilkobling for rask kobling til den medfølgende vakuumpumpen.
• Beskyttende gjennomsiktig hengslet lokk med sprutskål som trygt holder prosessvæsker innenfor.

&-veiledning for oppsett

Vakuumpumpe og vakuumslange er inkludert; det trengs ingen egen vakuumkilde. Velg 110V eller 220V i samsvar med nettspenningen der du bor. Før spinning kobler du til den medfølgende pumpen og plasserer et substrat som dekker hele vakuumflaten på chucken og O-ringen.

Ofte stilte spørsmål (FAQ)

Inkluderer SC-4-pakken en vakuumpumpe?

Ja. I motsetning til mange frittstående enheter på markedet, inkluderer standardpakken til SC-4 en ekstern vakuumpumpe og vakuumslangetilkobling, og gir et komplett system klart til bruk.

Hvilke underlagsstørrelser og -typer kan behandles?

SC-4 støtter substrater med diameter eller diagonal på opptil 4 tommer (100 mm), inkludert vanlige silisiumwafere, glassplater, kvartsplater og ITO/FTO-ledende glass.

Kan denne spincoateren kjøre flertrinns beleggingsprogrammer?

Ja. SC-4 har programmerbar flertrinnsstyring. Operatører kan tilpasse hastighet, akselerasjonsrampe og holdetid for hvert enkelt trinn for å skape jevne beleggingsprofiler (f.eks. innledende spredning ved lav hastighet etterfulgt av høyhastighetstynning).

Er SC-4 egnet for bruk i en hanskeboks?

Ja, forutsatt at kabinettet har tilstrekkelig plass, en egnet åpning for tilgang og ventilasjon for belegningsprosessen. Kontakt sales@fmfpack.com for å bekrefte dimensjonene før bestilling.

Hva er hastighetsområdet og oppløsningen?

100–9999 o/min med innstillingstrinn på 1 o/min. Bekreft driftsområdet for din leverte versjon før bestilling. Trinnet på 1 o/min er innstillingsoppløsningen, ikke en toleranse for nøyaktighet.

Kan visningsspråket endres?

Ja. Hold Mode inne i 3 sekunder, deretter SET inne i 3 sekunder for å gå til systemkonfigurasjon. Bruk venstre/høyre for å velge Language, opp/ned for å velge 2. English, og hold SET inne i 3 sekunder for å lagre. Trykk Mode for å gå tilbake.

Bruk og engelsk brukermanual

1. Monter chucken godt, koble til den medfølgende vakuumpumpen og koble enheten til en strømkilde som samsvarer med den valgte versjonen, 110V eller 220V.
2. Plasser et underlag som dekker vakuumflaten på chucken og O-ringen fullstendig; lukk lokket.
3. Velg Easy Mode eller Standard Mode. Hold SET inne i 3 sekunder for å redigere; still inn hastighet, tid og rampehastighet, og hold deretter SET for å lagre.
4. Start oppskriften og vent til rotasjonen stopper før du tar ut underlaget.

Standardmodus lagrer fem oppskrifter med fem trinn per oppskrift. Bruk vakuumslange med 4 mm indre diameter og 6 mm ytre diameter, og hold systemets retardasjon på eller under 3 000 RPM/s. Vakuumpumpen er inkludert, så det trengs ingen egen vakuumkilde. Velg versjonen 110V eller 220V som passer til nettspenningen der du bor.

Finnes det en bruksanvisning?

Les veiledningen for oppsett, programmering og engelsk meny for SC-4, eller last ned den engelske brukermanualen som PDF.