Hopp til produktinformasjon
1 av 9

FMF

EZ4 / SC4 benk-vakuum spin coaters, 9999 RPM programmerbar berøringsskjerm spin coatemaskin for 4-tommers wafer tynnfilmbelegg, 110V/220V

Vanlig pris $1,429.39 USD
Vanlig pris $0.00 USD Salgspris $1,429.39 USD
Salg Utsolgt
Inkludert avgifter. Frakt beregnes ved kassen.
Modell og hus
Antall



Produktoversikt

EZ4 / SC4 er en benkmontert vakuum spin-coater for påføring av fotoresist, tynnfilm, wafer, glassplater, ITO ledende glass og små prøveforberedelsesprosesser. De to valgbare modellene deler samme spin-coating-funksjon og kontrollplattform; bestillingsforskjellen er materialet på det ytre kabinettet.

Modellvalg

Variant Kabinettmateriale SKU
EZ4-PP PP plastkabinett EZ4-PP
SC4-AL Aluminiumlegeringskabinett SC4-AL

Hovedfunksjoner

  • Kompakt laboratorie spin-coater / spin-coating-maskin for substrater opptil 4 tommer.
  • Justerbar spinnehastighet opptil 9999 RPM med 1 RPM hastighetsoppløsning.
  • Programmerbar enkelt- og flerstegsoperasjon med innstillinger for hastighet, tid og akselerasjon.
  • Maksimal spinntid på 3000 s med 1 s tidsoppløsning.
  • Maksimal akselerasjonsinnstilling på 9999 RPM/s.
  • Vakuum spin chuck med 4 mm ID / 6 mm OD vakuumslangetilkobling.
  • Transparent hengslet lokk, frontkontrollpanel, startknapp, vakuumknapp og bakre VAC / strømgrensesnitt.
  • Kinesisk og engelsk menyskjerm med byttbar språkinnstilling.
  • Kompakt benkmontert kropp egnet for hanskeboksinstallasjon når driftsmiljøet oppfyller utstyrs krav.

Spesifikasjoner

Modeller EZ4-PP, SC4-AL
Utstyrstype Laboratorie spin-coater / kompakt spin-prosessor
Behandlingsbar substratstørrelse Opptil 4 tommer
Maksimal spinnehastighet 9999 RPM (uten last)
Hastighetsoppløsning 1 RPM
Maksimal spinntid 3000 s
Tidsoppløsning 1 s
Maksimal akselerasjonsrate 9999 RPM/s (uten last)
Substrat- og chuck-passform Bruk med kompatible prøver opptil en standard 4-tommers wafer; bekreft prøvedybde og chuck-passform før bruk.
Totale mål 215 mm (W) x 285 mm (D) x 222 mm (H)
Vekt 6 kg
Strømtilførsel 100-120V enfase, 150W / 200-230V enfase, 150W
Påkrevd vakuum 0,06-0,09 MPa, minimum 1,5 L/min strømningshastighet
Vakuumslange 4 mm ID, 6 mm OD
Standardpakke Spin-coater utstyr, 10 mm chuck, 25 mm bæretallerken, 2 tommers chuck, strømkabel og innsats

Kontroller og oppsett

  • Frontgrensesnittet støtter parameteroppsett for hastighet, tid og akselerasjon, samt hurtigkjøring og flerstegs operasjonsmodi.
  • Baksiden inkluderer sikring, strømledningstilkobling og vakuumrørtilkobling.
  • Vakuumslangen kobler ekstern vakuumpumpe og chuck slik at prøven holdes med vakuum under spin-coating.
  • Plasser utstyret på en flat, stabil overflate med god ventilasjon før bruk.

Valgnotater

Velg EZ4-PP når PP plastkabinett foretrekkes, eller velg SC4-AL når aluminiumlegeringskabinett foretrekkes. Bekreft substratstørrelse, chuck-passform, spenningsversjon, støpseltype og vakuumoppsett før bestilling.

FAQ

Hva er forskjellen mellom EZ4 og SC4?

Den oppgitte forskjellen er materialet på det ytre kabinettet: EZ4-PP bruker PP plastkabinett, mens SC4-AL bruker aluminiumlegeringskabinett.

Hvilken substratstørrelse kan denne spin-coateren håndtere?

Den oppgitte behandlingsbare substratstørrelsen er opptil 4 tommer.

Hva er maksimal hastighet?

Den oppgitte maksimale spinnehastigheten er 9999 RPM med 1 RPM oppløsning.

Kan den kjøre flerstegsprogrammer?

Ja. Grensesnittet støtter enkelt- og flerstegs operasjon med innstillinger for hastighet, tid og akselerasjon.

Støtter menyen engelsk?

Ja. Instrumentet støtter kinesisk og engelsk menyskjerm, og språket kan byttes etter behov.

Vis alle detaljer