FMF
EZ4 / SC4 benk-vakuum spin coaters, 9999 RPM programmerbar berøringsskjerm spin coatemaskin for 4-tommers wafer tynnfilmbelegg, 110V/220V
Kunne ikke laste inn hentetilgjengelighet
Produktoversikt
EZ4 / SC4 er en benkmontert vakuum spin-coater for påføring av fotoresist, tynnfilm, wafer, glassplater, ITO ledende glass og små prøveforberedelsesprosesser. De to valgbare modellene deler samme spin-coating-funksjon og kontrollplattform; bestillingsforskjellen er materialet på det ytre kabinettet.
Modellvalg
| Variant | Kabinettmateriale | SKU |
|---|---|---|
| EZ4-PP | PP plastkabinett | EZ4-PP |
| SC4-AL | Aluminiumlegeringskabinett | SC4-AL |
Hovedfunksjoner
- Kompakt laboratorie spin-coater / spin-coating-maskin for substrater opptil 4 tommer.
- Justerbar spinnehastighet opptil 9999 RPM med 1 RPM hastighetsoppløsning.
- Programmerbar enkelt- og flerstegsoperasjon med innstillinger for hastighet, tid og akselerasjon.
- Maksimal spinntid på 3000 s med 1 s tidsoppløsning.
- Maksimal akselerasjonsinnstilling på 9999 RPM/s.
- Vakuum spin chuck med 4 mm ID / 6 mm OD vakuumslangetilkobling.
- Transparent hengslet lokk, frontkontrollpanel, startknapp, vakuumknapp og bakre VAC / strømgrensesnitt.
- Kinesisk og engelsk menyskjerm med byttbar språkinnstilling.
- Kompakt benkmontert kropp egnet for hanskeboksinstallasjon når driftsmiljøet oppfyller utstyrs krav.
Spesifikasjoner
| Modeller | EZ4-PP, SC4-AL |
|---|---|
| Utstyrstype | Laboratorie spin-coater / kompakt spin-prosessor |
| Behandlingsbar substratstørrelse | Opptil 4 tommer |
| Maksimal spinnehastighet | 9999 RPM (uten last) |
| Hastighetsoppløsning | 1 RPM |
| Maksimal spinntid | 3000 s |
| Tidsoppløsning | 1 s |
| Maksimal akselerasjonsrate | 9999 RPM/s (uten last) |
| Substrat- og chuck-passform | Bruk med kompatible prøver opptil en standard 4-tommers wafer; bekreft prøvedybde og chuck-passform før bruk. |
| Totale mål | 215 mm (W) x 285 mm (D) x 222 mm (H) |
| Vekt | 6 kg |
| Strømtilførsel | 100-120V enfase, 150W / 200-230V enfase, 150W |
| Påkrevd vakuum | 0,06-0,09 MPa, minimum 1,5 L/min strømningshastighet |
| Vakuumslange | 4 mm ID, 6 mm OD |
| Standardpakke | Spin-coater utstyr, 10 mm chuck, 25 mm bæretallerken, 2 tommers chuck, strømkabel og innsats |
Kontroller og oppsett
- Frontgrensesnittet støtter parameteroppsett for hastighet, tid og akselerasjon, samt hurtigkjøring og flerstegs operasjonsmodi.
- Baksiden inkluderer sikring, strømledningstilkobling og vakuumrørtilkobling.
- Vakuumslangen kobler ekstern vakuumpumpe og chuck slik at prøven holdes med vakuum under spin-coating.
- Plasser utstyret på en flat, stabil overflate med god ventilasjon før bruk.
Valgnotater
Velg EZ4-PP når PP plastkabinett foretrekkes, eller velg SC4-AL når aluminiumlegeringskabinett foretrekkes. Bekreft substratstørrelse, chuck-passform, spenningsversjon, støpseltype og vakuumoppsett før bestilling.
FAQ
Hva er forskjellen mellom EZ4 og SC4?
Den oppgitte forskjellen er materialet på det ytre kabinettet: EZ4-PP bruker PP plastkabinett, mens SC4-AL bruker aluminiumlegeringskabinett.
Hvilken substratstørrelse kan denne spin-coateren håndtere?
Den oppgitte behandlingsbare substratstørrelsen er opptil 4 tommer.
Hva er maksimal hastighet?
Den oppgitte maksimale spinnehastigheten er 9999 RPM med 1 RPM oppløsning.
Kan den kjøre flerstegsprogrammer?
Ja. Grensesnittet støtter enkelt- og flerstegs operasjon med innstillinger for hastighet, tid og akselerasjon.
Støtter menyen engelsk?
Ja. Instrumentet støtter kinesisk og engelsk menyskjerm, og språket kan byttes etter behov.




