FMF
FMF EZ4 / SC4 Bänkskivemodell Vakuum Spin Coater, 9999 RPM Programmerbar Pekskärm Spin Coating Maskin för 4 Tum Wafer Tunnfilmsbeläggning, 110V/220V
Det gick inte att ladda hämtningstillgänglighet
Accepted secure payment methods
Produktöversikt
EZ4 / SC4 är en bänkskivans vakuumspincoater för fotoresistbeläggning, tunnfilmsbeläggning, waferbeläggning, glasskivebeläggning, ITO-ledande glasbeläggning och arbetsflöden för små provberedningar. De två valbara modellerna delar samma spincoatingfunktion och kontrollplattform; skillnaden i beställning är ytterhöljets material.
Modellalternativ
| Variant | Höljesmaterial | SKU |
|---|---|---|
| EZ4-PP | PP-plasthölje | EZ4-PP |
| SC4-AL | Aluminiumlegeringshölje | SC4-AL |
Huvudfunktioner
- Kompakt laboratoriespincoater / spincoatingmaskin för substrat upp till 4 tum.
- Justerbar spinnhastighet upp till 9999 RPM med 1 RPM hastighetsupplösning.
- Programmerbar enkelstegs- och flerstegsdrift med inställningar för hastighet, tid och acceleration.
- Maximal spinnid på 3000 s med 1 s tidsupplösning.
- Maximal accelerationsinställning på 9999 RPM/s.
- Vakuumspinnchuck med 4 mm innerdiameter / 6 mm ytterdiameter vakuumslanganslutning.
- Transparent gångjärnslock, frontpanel, körknapp, vakuumknapp och bakre VAC-/strömgränssnitt.
- Kinesisk och engelsk menydisplay med omställbar språkinställning.
- Kompakt bänkskivaskropp lämplig för installation i handskbox när driftmiljön uppfyller utrustningskraven.
Specifikationer
| Modeller | EZ4-PP, SC4-AL |
|---|---|
| Utrustningstyp | Laboratoriespincoater / kompakt spinprocessor |
| Bearbetningsbar substratstorlek | Upp till 4 tum |
| Maximal spinnhastighet | 9999 RPM (obelastad) |
| Hastighetsupplösning | 1 RPM |
| Maximal spinnid | 3000 s |
| Tidsupplösning | 1 s |
| Maximal rampningshastighet | 9999 RPM/s (obelastad) |
| Substrat- och chuckpassning | Använd med kompatibla prover upp till en standard 4-inch wafer; bekräfta provdjup och chuckpassning före drift. |
| Total storlek | 215 mm (B) x 285 mm (D) x 222 mm (H) |
| Vikt | 6 kg |
| Strömingång | 100-120V enfas, 150W / 200-230V enfas, 150W |
| Erforderligt vakuum | 0.06-0.09 MPa, minst 1.5 L/min flödeshastighet |
| Vakuumslang | 4 mm ID, 6 mm OD |
| Standardpaket | Spincoaterutrustning, 10 mm chuck, 25 mm bärplatta, 2 tums chuck, strömkabel och insats |
Kontroller och inställning
- Frontgränssnittet stöder parameterinställning för hastighet, tid och acceleration, samt snabbkörnings- och flerstegsdriftslägen.
- Baksidan innehåller säkring, strömkabeluttag och vakuumslanganslutning.
- Vakuumledningen ansluter den externa vakuumpumpen och chucken så att provet kan hållas fast av vakuum under spincoating.
- Placera utrustningen på en plan, stabil yta med god ventilation före drift.
Urvalsanmärkningar
Välj EZ4-PP när ett PP-plasthölje föredras, eller välj SC4-AL när ett aluminiumlegeringshölje föredras. Bekräfta substratstorlek, chuckpassning, spänningsversion, kontakttyp och vakuuminställning före beställning.
FAQ
Vad är skillnaden mellan EZ4 och SC4?
Den angivna skillnaden är ytterhöljets material: EZ4-PP använder ett PP-plasthölje, medan SC4-AL använder ett aluminiumlegeringshölje.
Vilken substratstorlek kan denna spincoater hantera?
Den angivna bearbetningsbara substratstorleken är upp till 4 tum.
Vad är maxhastigheten?
Den angivna maximala spinnhastigheten är 9999 RPM med 1 RPM upplösning.
Kan den köra flerstegsprogram?
Ja. Gränssnittet stöder enkelstegs- och flerstegsdrift med inställningar för hastighet, tid och acceleration.
Har menyn stöd för engelska?
Ja. Instrumentet stöder kinesisk och engelsk menydisplay, och språket kan växlas vid behov.




