FMF

EZ4 / SC4 stolný vákuový rotačný nanášač, programovateľný rotačný nanášací stroj s dotykovou obrazovkou, 9999 ot./min, na tenkovrstvové nanášanie na 4-palcové wafre, 110V/220V

$1,429.39 USD

~~$0.00 USD~~ $1,429.39 USD

Zľava Vypredané

Vrátane daní. Doprava sa vypočíta pri platbe.

Model a kryt EZ4-PP (PP kryt) SC4-AL (hliníkové zliatinové puzdro)

Prehľad produktu

EZ4 / SC4 je stolný vákuový spin coater na nanášanie fotorezistu, tenkých vrstiev, potieranie waferov, potieranie sklenených podložiek, potieranie ITO vodivého skla a prípravu malých vzoriek. Dva voliteľné modely zdieľajú rovnakú funkciu spin-coatingu a riadiacu platformu; rozdiel v objednávke je v materiáli vonkajšieho krytu.

Možnosti modelov

Variant	Materiál krytu	SKU
EZ4-PP	PP plastový kryt	EZ4-PP
SC4-AL	Hliníková zliatina	SC4-AL

Kľúčové vlastnosti

Kompaktný laboratórny spin coater / stroj na spin coating pre substráty do veľkosti 4 palcov.
Nastaviteľná rýchlosť otáčania až do 9999 RPM s rozlíšením 1 RPM.
Programovateľná jednorazová a viacstupňová prevádzka s nastaveniami rýchlosti, času a zrýchlenia.
Maximálny čas otáčania 3000 s s rozlíšením 1 s.
Maximálne nastavenie zrýchlenia 9999 RPM/s.
Vákuový spin chuck s pripojením vákuovej hadice 4 mm ID / 6 mm OD.
Priehľadný pántový kryt, predný ovládací panel, tlačidlo spustenia, tlačidlo vákuumu a zadné rozhrania VAC / napájania.
Menu v čínštine a angličtine s možnosťou prepínania jazyka.
Kompaktné stolné telo vhodné na inštaláciu do glove-boxu, ak prevádzkové prostredie vyhovuje požiadavkám zariadenia.

Špecifikácie

Modely	EZ4-PP, SC4-AL
Typ zariadenia	Laboratórny spin coater / kompaktný spin procesor
Veľkosť spracovateľného substrátu	Až do 4 palcov
Maximálna rýchlosť otáčania	9999 RPM (bez záťaže)
Rozlíšenie rýchlosti	1 RPM
Maximálny čas otáčania	3000 s
Rozlíšenie času	1 s
Maximálna rýchlosť zrýchlenia	9999 RPM/s (bez záťaže)
Kompatibilita substrátu a chucku	Použitie s kompatibilnými vzorkami do štandardného 4-palcového waferu; pred prevádzkou potvrďte hĺbku vzorky a prispôsobenie chucku.
Celkové rozmery	215 mm (W) x 285 mm (D) x 222 mm (H)
Hmotnosť	6 kg
Napájanie	100-120V jednofázové, 150W / 200-230V jednofázové, 150W
Požadovaný vákuum	0,06-0,09 MPa, minimálny prietok 1,5 L/min
Vákuová hadica	4 mm ID, 6 mm OD
Štandardné balenie	Zariadenie spin coater, chuck 10 mm, nosná platňa 25 mm, chuck 2 palce, napájací kábel a vložka

Ovládanie a nastavenie

Predné rozhranie podporuje nastavenie parametrov rýchlosti, času a zrýchlenia, ako aj režimy rýchleho spustenia a viacstupňovej prevádzky.
Zadná strana obsahuje poistku, zásuvku napájacieho kábla a rozhranie vákuovej hadice.
Vákuová hadica spája externú vákuovú pumpu a chuck, aby vzorka mohla byť počas spin coatingu držaná pod vákuom.
Pred prevádzkou umiestnite zariadenie na rovný, stabilný povrch s dobrou ventiláciou.

Poznámky k výberu

Vyberte EZ4-PP, ak preferujete PP plastový kryt, alebo SC4-AL, ak preferujete hliníkový kryt. Pred objednaním potvrďte veľkosť substrátu, prispôsobenie chucku, verziu napätia, typ zástrčky a nastavenie vákuumu.