FMF

EZ4 / SC4 Benchtop Vacuum Spin Coater, 9999 RPM programmeerbare touchscreen spincoatingmachine voor 4 inch wafer dunnefilmcoating, 110V/220V

$1,429.39 USD

Aanbieding Uitverkocht

Belastingen inbegrepen. Verzendkosten worden berekend bij de checkout.

Model en behuizing EZ4-PP (PP-behuizing) SC4-AL (Aluminiumlegering behuizing)

Productoverzicht

De EZ4 / SC4 is een tafelmodel vacuüm spincoater voor fotoresist-coating, dunnefilmcoating, wafercoating, glaasjescoating, ITO-geleidend glascoating en kleine monsterbereidingsworkflows. De twee selecteerbare modellen delen dezelfde spincoatingfunctie en hetzelfde bedieningsplatform; het verschil bij bestellen is het buitenmateriaal van de behuizing.

Modelopties

Variant	Behuizingsmateriaal	SKU
EZ4-PP	PP kunststof behuizing	EZ4-PP
SC4-AL	Aluminiumlegering behuizing	SC4-AL

Belangrijkste kenmerken

Compacte laboratorium spincoater / spincoatingmachine voor substraten tot 4 inch.
Instelbare spinsnelheid tot 9999 RPM met 1 RPM snelheidsresolutie.
Programmeerbare enkelstaps- en meerstapsbediening met snelheids-, tijd- en acceleratie-instellingen.
Maximale spintijd van 3000 s met 1 s tijdresolutie.
Maximale acceleratie-instelling van 9999 RPM/s.
Vacuüm spinchuck met 4 mm ID / 6 mm OD vacuümslangaansluiting.
Transparant scharnierend deksel, voorpaneel, startknop, vacuümknop en achterste VAC-/stroomaansluitingen.
Chinese en Engelse menudisplay met schakelbare taalinstelling.
Compact tafelmodel geschikt voor installatie in een handschoenenkast wanneer de werkomgeving voldoet aan de apparatuurvereisten.

Specificaties

Modellen	EZ4-PP, SC4-AL
Apparatuurtype	Laboratorium spincoater / compacte spinprocessor
Verwerkbare substraatgrootte	Tot 4 inch
Maximale spinsnelheid	9999 RPM (onbelast)
Snelheidsresolutie	1 RPM
Maximale spintijd	3000 s
Tijdresolutie	1 s
Maximale acceleratie	9999 RPM/s (onbelast)
Substraat- en chuckpasvorm	Gebruik met compatibele monsters tot een standaard 4-inch wafer; bevestig de monsterdiepte en chuckpasvorm voor gebruik.
Totale afmetingen	215 mm (B) x 285 mm (D) x 222 mm (H)
Gewicht	6 kg
Voeding	100-120V eenfasig, 150W / 200-230V eenfasig, 150W
Benodigd vacuüm	0,06-0,09 MPa, minimaal 1,5 L/min debiet
Vacuümslang	4 mm ID, 6 mm OD
Standaardpakket	Spincoater-apparatuur, 10 mm chuck, 25 mm draagplaat, 2 inch chuck, stroomkabel en inzetstuk

Bediening en installatie

Het voorpaneel ondersteunt parameterinstelling voor snelheid, tijd en acceleratie, plus snelle start- en meerstapsbedieningsmodi.
De achterzijde bevat de zekering, stroomkabelaansluiting en vacuümslangaansluiting.
De vacuümleiding verbindt de externe vacuümpomp en chuck zodat het monster tijdens het spincoaten door vacuüm wordt vastgehouden.
Plaats de apparatuur voor gebruik op een vlak, stabiel oppervlak met goede ventilatie.

Selectieopmerkingen

Kies EZ4-PP wanneer een PP kunststof behuizing de voorkeur heeft, of kies SC4-AL wanneer een aluminiumlegering behuizing de voorkeur heeft. Bevestig voor het bestellen de substraatgrootte, chuckpasvorm, spanningsversie, stekkertype en vacuümopstelling.

FAQ

Wat is het verschil tussen EZ4 en SC4?

Het vermelde verschil is het buitenmateriaal van de behuizing: EZ4-PP gebruikt een PP kunststof behuizing, terwijl SC4-AL een aluminiumlegering behuizing gebruikt.