FMF
FMF EZ4 / SC4 Spin Coater da banco sottovuoto, macchina per spin coating con touch screen programmabile a 9999 giri/min per rivestimento a film sottile su wafer da 4 pollici, 110V/220V
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Panoramica del prodotto
Il EZ4 / SC4 è uno spin coater da banco sottovuoto progettato per rivestimenti di fotoresist, film sottili, wafer, vetrini portaoggetti, vetro conduttivo ITO e preparazione di piccoli campioni. I due modelli selezionabili condividono la stessa funzione di rivestimento per centrifugazione e la stessa piattaforma di controllo; la differenza nell'ordine risiede nel materiale dell'involucro esterno.
Opzioni del modello
| Variante | Materiale dell'involucro | SKU |
|---|---|---|
| EZ4-PP | Involucro in plastica PP | EZ4-PP |
| SC4-AL | Involucro in lega di alluminio | SC4-AL |
Caratteristiche principali
- Spin coater da laboratorio compatto / macchina per rivestimento per centrifugazione per substrati fino a 4 pollici.
- Velocità di rotazione regolabile fino a 9999 RPM con risoluzione di 1 RPM.
- Funzionamento programmabile a singolo e multiplo stadio con impostazioni di velocità, tempo e accelerazione.
- Tempo di rotazione massimo di 3000 s con risoluzione di 1 s.
- Impostazione di accelerazione massima di 9999 RPM/s.
- Mandrino di rotazione sottovuoto con collegamento per tubo flessibile da 4 mm di diametro interno / 6 mm di diametro esterno.
- Coperchio incernierato trasparente, pannello di controllo frontale, pulsante di avvio, pulsante del vuoto e interfacce posteriori VAC / alimentazione.
- Display con menu in cinese e inglese con impostazione della lingua commutabile.
- Corpo compatto da banco adatto per installazione in glove-box quando l'ambiente operativo soddisfa i requisiti dell'apparecchiatura.
Specifiche tecniche
| Modelli | EZ4-PP, SC4-AL |
|---|---|
| Tipo di apparecchiatura | Spin coater da laboratorio / processore di rotazione compatto |
| Dimensione del substrato lavorabile | Fino a 4 pollici |
| Velocità di rotazione massima | 9999 RPM (a vuoto) |
| Risoluzione della velocità | 1 RPM |
| Tempo di rotazione massimo | 3000 s |
| Risoluzione del tempo | 1 s |
| Velocità di rampa massima | 9999 RPM/s (a vuoto) |
| Adattamento substrato e mandrino | Utilizzare con campioni compatibili fino a un wafer standard 4-inch; verificare la profondità del campione e l'adattamento del mandrino prima dell'operazione. |
| Dimensioni totali | 215 mm (L) x 285 mm (P) x 222 mm (A) |
| Peso | 6 kg |
| Alimentazione | 100-120V monofase, 150W / 200-230V monofase, 150W |
| Vuoto richiesto | 0.06-0.09 MPa, portata minima 1.5 L/min |
| Tubo flessibile per vuoto | Diametro interno 4 mm, diametro esterno 6 mm |
| Dotazione standard | Apparecchiatura spin coater, mandrino da 10 mm, piastra di supporto da 25 mm, mandrino da 2 pollici, cavo di alimentazione e inserto |
Comandi e configurazione
- L'interfaccia frontale consente l'impostazione dei parametri di velocità, tempo e accelerazione, oltre alle modalità operative a esecuzione rapida e a più stadi.
- Sul lato posteriore si trovano il fusibile, la presa del cavo di alimentazione e l'interfaccia del tubo del vuoto.
- La linea del vuoto collega la pompa per vuoto esterna e il mandrino in modo che il campione possa essere trattenuto dal vuoto durante il rivestimento per centrifugazione.
- Posizionare l'apparecchiatura su una superficie piana e stabile con una buona ventilazione prima dell'operazione.
Note per la selezione
Scegliere EZ4-PP quando si preferisce un involucro in plastica PP, oppure SC4-AL quando si preferisce un involucro in lega di alluminio. Prima di ordinare, verificare le dimensioni del substrato, l'adattamento del mandrino, la versione di tensione, il tipo di spina e la configurazione del vuoto.
FAQ
Qual è la differenza tra EZ4 e SC4?
La differenza elencata è il materiale dell'involucro esterno: EZ4-PP utilizza un involucro in plastica PP, mentre SC4-AL utilizza un involucro in lega di alluminio.
Quale dimensione del substrato può gestire questo spin coater?
La dimensione del substrato lavorabile indicata è fino a 4 pollici.
Qual è la velocità massima?
La velocità di rotazione massima indicata è 9999 RPM con risoluzione di 1 RPM.
Può eseguire programmi a più stadi?
Sì. L'interfaccia supporta il funzionamento a singolo e multiplo stadio con impostazioni di velocità, tempo e accelerazione.
Il menu supporta l'inglese?
Sì. Lo strumento supporta la visualizzazione del menu in cinese e inglese e la lingua può essere commutata secondo necessità.




