FMFPAX SC-4 Spin Coater Bedienungsanleitung: Aufbau, Betrieb und Reinigung
Diese Anleitung zum SC-4 Spin Coater begleitet Sie bei Installation, Aufbau des Vakuum-Chucks, programmierbaren Rezepten, der Umstellung des Menüs auf Englisch und der routinemäßigen Reinigung.
Laden Sie die englische Bedienungsanleitung für den SC-4 herunter – 37 PDF-Seiten, ca. 8.7 MB.
Aufbau | Betrieb | Englisches Menü | Einstellungen | Wartung | FAQ
Angaben in der Anleitung und Versionsprüfung
Das mitgelieferte Dokument trägt den Titel SC-4, verwendet in seiner Spezifikationstabelle und im Bedienungstext jedoch auch EZ4. Die dort genannten Werte weichen von diesem Produktangebot ab. Die folgenden Angaben sind Werte aus diesem Dokument und bestätigen nicht die Ausstattung jedes gelieferten Geräts. Prüfen Sie das Typenschild des Geräts und wenden Sie sich vor der Bestellung oder dem Anschluss an die Stromversorgung an sales@fmfpack.com.
| Maximale Drehzahl / Auflösung | 10.000 RPM / 1 RPM |
|---|---|
| Maximale Schleuderzeit / Auflösung | 3.000 s / 1 s |
| Maximale Rampenrate | 10.000 RPM/s |
| Abmessungen / Gewicht | 210 × 265 × 215 mm (B × T × H) / 6 kg |
| Spannungsvarianten | AC 100–120 V oder AC 200–230 V, einphasig, 200 W; tatsächliche Variante prüfen. Die Frequenz ist in dieser Anleitung nicht angegeben. |
| Erforderliches externes Vakuum | 0,06–0,09 MPa; Mindestdurchfluss 15 L/min, wie in der Anleitung angegeben |
| Vakuumschlauch / Sicherung | 4 mm Innendurchmesser, 6 mm Außendurchmesser / 2 A |
Installation und Aufbau des Vakuum-Chucks
- Stellen Sie den Coater auf eine ebene, stabile Fläche in einem gut belüfteten Abzug, wie es das Beschichtungsmaterial erfordert. Halten Sie einen Sicherheitsabstand von 20 cm rund um das Gerät ein.
- Prüfen Sie die Spannung auf dem Typenschild und verwenden Sie eine geerdete Steckdose. Schließen Sie die externe Vakuumpumpe mit dem angegebenen Schlauch an.
- Setzen Sie den Chuck vollständig auf die Spindel und richten Sie seine Nut am Spindelstift aus. Halten Sie den Chuck sauber und seine zentrale Öffnung frei.
- Zentrieren Sie das Substrat. Es muss die Vakuumfläche des Chucks einschließlich des O-Rings vollständig abdecken. Schließen Sie den Deckel vor dem Schleudern.
So bedienen Sie den SC-4 Spin Coater
Easy Mode: Versuche in einem Schritt
Drücken Sie Mode, um den Easy Mode zu wählen. Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um Drehzahl, Zeit und Rampenrate zu bearbeiten. Mit den Tasten links/rechts setzen Sie den Cursor, mit den Tasten oben/unten ändern Sie den Wert. Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu speichern, und starten Sie den Lauf über die Start-/Stopp-Steuerung.
Standard Mode: gespeicherte mehrstufige Rezepte
Drücken Sie Mode, um den Standard Mode zu wählen. Wählen Sie mit den Tasten links/rechts ein Rezept von A–E. Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu bearbeiten; stellen Sie Drehzahl, Zeit und Rampenrate für jeden der fünf Schritte ein. Drücken Sie SET, um zum nächsten Schritt zu gelangen. Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu speichern. Starten Sie das gewählte Rezept aus dem Arbeitsbildschirm.
Die Anleitung beschreibt fünf gespeicherte Rezepte mit je fünf Schritten. Das elektronische Vakuumventil öffnet automatisch beim Start eines Prozesses und schließt nach dem Ende der Rotation. Entnehmen Sie das Substrat erst, wenn der Chuck stillsteht.
So stellen Sie das Menü auf Englisch um
- Halten Sie Mode 3 Sekunden lang gedrückt, um die System-UI aufzurufen.
- Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um die Systemkonfiguration aufzurufen.
- Bewegen Sie den Cursor mit links/rechts auf Language.
- Wählen Sie mit oben/unten die Option 2. English.
- Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu speichern und zu verlassen. Drücken Sie Mode, um zum Easy Mode zurückzukehren.
Siehe gedruckte Seite 24 (PDF-Seite 29). Tastenbezeichnungen und Menüs sollten mit der Controller-Version Ihres Geräts übereinstimmen.
Wichtige Einstellungen
| Language | Wählt die Anzeigesprache; in der Anleitung ist 2. English angegeben. |
|---|---|
| Decel | Verzögerungsrate des Systems. Laut Anleitung darf sie 3.000 RPM/s nicht überschreiten. |
| Beep | Schaltet den Signalton ein oder aus. |
| Save | Halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu speichern und die Systemkonfiguration zu verlassen. |
Sicherheit und Wartung
- Tragen Sie einen geeigneten Augenschutz. Verwenden Sie keine explosionsgefährlichen Chemikalien. Öffnen Sie den Deckel nicht und berühren Sie das Substrat nicht, solange geschleudert wird.
- Wischen Sie nach dem Betrieb zurückgebliebene Beschichtungsflüssigkeit mit Labortüchern aus der Auffangschale. Die Anleitung erlaubt eine geringe Menge Aceton ausschließlich für die Auffangschale; sprühen Sie keine Flüssigkeit in Richtung des Chucks.
- Trennen Sie das Gerät vom Stromnetz, bevor Sie die Sicherung wechseln oder die Auffangschale abnehmen. Verwenden Sie die angegebene Sicherung. Wartungsarbeiten am Coater dürfen nur qualifizierte Fachkräfte durchführen.
- Wenn sich das Substrat verschiebt oder Vibrationen auftreten, stoppen Sie den Lauf und prüfen Sie Zentrierung, Abdeckung des Substrats, Vakuumversorgung und festen Sitz des Chucks.
Lieferumfang und Zubehör
Das aktuelle Produktangebot für den SC-4 umfasst eine externe Vakuumpumpe, eine Vakuumleitung und ein Netzkabel. Die Anleitung enthält keine vollständige Packliste; bestätigen Sie die gelieferten Chuck-Größen und weiteres Zubehör für Ihre Bestellung.
Häufig gestellte Fragen
Wo finde ich die Einstellung für die englische Sprache?
Halten Sie Mode 3 Sekunden lang und anschließend SET 3 Sekunden lang gedrückt. Wählen Sie Language mit links/rechts, wählen Sie 2. English mit oben/unten und halten Sie SET 3 Sekunden lang gedrückt, um zu speichern.
Wie viele Rezepte lassen sich speichern?
Die mitgelieferte Anleitung beschreibt fünf Rezepte im Standard Mode, A–E, mit je fünf Schritten. Der Easy Mode behält den letzten einstufigen Prozess bei.
Lässt sich das Vakuumventil manuell schalten?
Die Anleitung beschreibt eine manuelle Vakuumsteuerung über den Arbeitsbildschirm zu Testzwecken. Während eines laufenden Prozesses lässt sich das Vakuumventil nicht schließen.
Bedeutet eine Auflösung von 1 RPM auch eine Genauigkeit von 1 RPM?
Nein. Die Auflösung ist die Schrittweite der Einstellung. Eine separate Toleranz für die Drehzahlgenauigkeit ist in dieser Anleitung nicht angegeben.
Ist das Netzteil universell einsetzbar?
Die Anleitung nennt getrennte Varianten für 100–120 V und 200–230 V. Gehen Sie aufgrund dieses Dokuments nicht von einem universellen Eingang aus; prüfen Sie das tatsächliche Typenschild und die Bestellkonfiguration.