FMF

EZ4 / SC4 stolní vakuový rotační potahovač, programovatelný dotykový displej, 9999 ot./min, potahování tenkých vrstev na 4palcové destičky, 110V/220V

$1,429.39 USD

~~$0.00 USD~~ $1,429.39 USD

Sleva Vyprodáno

Včetně daní. Poštovné se vypočítá na pokladně.

Model a pouzdro EZ4-PP (PP pouzdro) SC4-AL (hliníkový slitinový kryt)

Přehled produktu

EZ4 / SC4 je stolní vakuový spin coater pro nanášení fotorezistu, tenkých vrstev, potahování waferů, skleněných podložek, ITO vodivého skla a přípravu malých vzorků. Oba volitelné modely sdílejí stejnou funkci spin-coatingu a řídicí platformu; rozdíl při objednávce je v materiálu vnějšího krytu.

Možnosti modelů

Varianta	Materiál krytu	SKU
EZ4-PP	PP plastový kryt	EZ4-PP
SC4-AL	Hliníková slitina	SC4-AL

Klíčové vlastnosti

Kompatní laboratorní spin coater / stroj na spin coating pro substráty až do velikosti 4 palců.
Nastavitelná rychlost otáček až do 9999 RPM s rozlišením 1 RPM.
Programovatelné jednokrokové a vícekrokové operace s nastavením rychlosti, času a zrychlení.
Maximální doba otáčení 3000 s s rozlišením 1 s.
Maximální nastavení zrychlení 9999 RPM/s.
Vakuový spin chuck s připojením vakuové hadičky 4 mm ID / 6 mm OD.
Průhledné víko na pantu, přední ovládací panel, tlačítko spuštění, tlačítko vakuum a zadní VAC / napájecí rozhraní.
Menu v čínštině a angličtině s možností přepnutí jazyka.
Kompatní stolní provedení vhodné pro instalaci do glove-boxu, pokud provozní prostředí splňuje požadavky zařízení.

Specifikace

Modely	EZ4-PP, SC4-AL
Typ zařízení	Laboratorní spin coater / kompaktní spin procesor
Velikost zpracovatelného substrátu	Až 4 palce
Maximální rychlost otáček	9999 RPM (bez zátěže)
Rozlišení rychlosti	1 RPM
Maximální doba otáčení	3000 s
Časové rozlišení	1 s
Maximální rychlost zrychlení	9999 RPM/s (bez zátěže)
Kompatibilita substrátu a chucku	Použití s kompatibilními vzorky až do standardního 4palcového waferu; před provozem potvrďte hloubku vzorku a kompatibilitu chucku.
Celkové rozměry	215 mm (W) x 285 mm (D) x 222 mm (H)
Hmotnost	6 kg
Napájení	100-120V jednofázové, 150W / 200-230V jednofázové, 150W
Požadovaný vakuum	0,06-0,09 MPa, minimální průtok 1,5 L/min
Vakuová hadička	4 mm ID, 6 mm OD
Standardní balení	Zařízení spin coater, chuck 10 mm, nosná deska 25 mm, chuck 2 palce, napájecí kabel a vložka

Ovládání a nastavení

Přední rozhraní podporuje nastavení parametrů rychlosti, času a zrychlení, stejně jako režimy rychlého spuštění a vícekrokové operace.
Zadní strana obsahuje pojistku, zásuvku napájecího kabelu a rozhraní vakuové hadičky.
Vakuová hadička spojuje externí vakuovou pumpu a chuck, aby byl vzorek během spin coatingu držen vakuem.
Před provozem umístěte zařízení na rovný, stabilní povrch s dobrým větráním.

Poznámky k výběru

Zvolte EZ4-PP, pokud preferujete PP plastový kryt, nebo SC4-AL, pokud preferujete kryt z hliníkové slitiny. Před objednáním potvrďte velikost substrátu, kompatibilitu chucku, verzi napětí, typ zástrčky a vakuové nastavení.