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EZ4 / SC4 Tisch-Vakuum-Spin Coater, 9999 U/min Programmierbare Touchscreen-Spin-Coating-Maschine für 4-Zoll-Wafer-Dünnschichtbeschichtung, 110V/220V

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Modell und Gehäuse EZ4-PP (PP-Gehäuse) SC4-AL (Aluminiumlegierungsgehäuse)

Produktübersicht

Der EZ4 / SC4 ist ein Tisch-Vakuum-Spin-Coater für Photoresist-Beschichtung, Dünnschichtbeschichtung, Waferbeschichtung, Objektträgerbeschichtung, ITO-leitfähige Glasbeschichtung und Arbeitsabläufe zur Präparation kleiner Proben. Die beiden wählbaren Modelle teilen sich die gleiche Spin-Coating-Funktion und Steuerplattform; der Unterschied bei der Bestellung liegt im Material des Außengehäuses.

Modelloptionen

Variante	Gehäusematerial	SKU
EZ4-PP	PP-Kunststoffgehäuse	EZ4-PP
SC4-AL	Gehäuse aus Aluminiumlegierung	SC4-AL

Hauptmerkmale

Kompakter Labor-Spin-Coater / Spin-Coating-Maschine für Substrate bis zu 4 Zoll.
Einstellbare Spin-Geschwindigkeit bis zu 9999 U/min mit 1 U/min Geschwindigkeitsauflösung.
Programmierbarer Einzelschritt- und Mehrschrittbetrieb mit Einstellungen für Geschwindigkeit, Zeit und Beschleunigung.
Maximale Spin-Zeit von 3000 s mit 1 s Zeitauflösung.
Maximale Beschleunigungseinstellung von 9999 U/min/s.
Vakuum-Spin-Chuck mit 4 mm ID / 6 mm AD Vakuumschlauchanschluss.
Transparenter Klappdeckel, vorderes Bedienfeld, Starttaste, Vakuumtaste und hintere VAC / Stromschnittstellen.
Chinesische und englische Menüanzeige mit umschaltbarer Spracheinstellung.
Kompaktes Tischgehäuse, geeignet für die Installation in einer Handschuhbox, wenn die Betriebsumgebung den Gerätespezifikationen entspricht.

Spezifikationen

Modelle	EZ4-PP, SC4-AL
Gerätetyp	Labor-Spin-Coater / kompakter Spin-Prozessor
Verarbeitbare Substratgröße	Bis zu 4 Zoll
Maximale Schleudergeschwindigkeit	9999 U/min (Leerlauf)
Geschwindigkeitsauflösung	1 U/min
Maximale Schleuderzeit	3000 s
Zeitauflösung	1 s
Maximale Rampenrate	9999 U/min/s (Leerlauf)
Substrat- und Chuck-Passung	Verwendung mit kompatiblen Proben bis zu einem Standard-4-Zoll-Wafer; vor dem Betrieb die Probentiefe und Chuck-Passung überprüfen.
Gesamtgröße	215 mm (B) x 285 mm (T) x 222 mm (H)
Gewicht	6 kg
Stromaufnahme	100-120V einphasig, 150W / 200-230V einphasig, 150W
Erforderliches Vakuum	0,06-0,09 MPa, Mindestdurchflussrate 1,5 L/min
Vakuumschlauch	4 mm ID, 6 mm OD
Standardpaket	Spin-Coater-Gerät, 10-mm-Chuck, 25-mm-Trägerplatte, 2-Zoll-Chuck, Stromleitung und Einsatz

Steuerung und Einrichtung

Die vordere Schnittstelle unterstützt die Parametereinstellung für Geschwindigkeit, Zeit und Beschleunigung sowie Schnelllauf- und Mehrschritt-Betriebsmodi.
Die Rückseite enthält die Sicherung, die Netzkabelbuchse und die Vakuumschnittstelle.
Die Vakuumleitung verbindet die externe Vakuumpumpe und den Chuck, sodass die Probe während des Spin-Coatings durch Vakuum gehalten werden kann.
Stellen Sie das Gerät vor dem Betrieb auf eine flache, stabile Oberfläche mit guter Belüftung.

Auswahlhinweise

Wählen Sie EZ4-PP, wenn ein PP-Kunststoffgehäuse bevorzugt wird, oder SC4-AL, wenn ein Gehäuse aus Aluminiumlegierung bevorzugt wird. Bestätigen Sie vor der Bestellung die Substratgröße, die Chuck-Passung, die Spannungsversion, den Steckertyp und die Vakuumkonfiguration.

FAQ

Was ist der Unterschied zwischen EZ4 und SC4?

Der angegebene Unterschied ist das Material des Außengehäuses: EZ4-PP verwendet ein PP-Kunststoffgehäuse, während SC4-AL ein Gehäuse aus Aluminiumlegierung verwendet.